本申请公开了一种定位精度测量方法、装置和定位精度测量系统，属于精度测量领域。所述定位精度测量方法，包括：获取运动目标时长内，待测设备输出的第一运动轨迹和参考设备输出的第二运动轨迹；第一运动轨迹表征待测设备的运动位姿的集合，第二运动轨迹表...

本技术提供一种用于集成光子/电子器件的衬底表面刻蚀设备，包括容器、位于所述容器中的支撑台以及声波产生装置；所述容器用于盛放包括液体与微纳米颗粒的混合液；所述衬底表面设置图案化的阻挡层，所述衬底表面存在未被所述阻挡层覆盖而裸露的区域；工作...

本申请涉及一种晶体定向加工方法和装置，其中，该晶体定向加工方法包括：控制放置有待加工晶体的运动平台，带动待加工晶体旋转至目标位姿；在目标位姿下，待加工晶体中存在与入射X射线满足布拉格条件的第一目标晶面，入射X射线经由X射线衍射仪发射；利...

本申请提供一种微米级多自由度柔性显微操作仪、控制方法及控制系统，属于显微操作技术领域。本申请的微米级多自由度柔性显微操作仪包括多自由度移动平台和T轴移动平台，T轴移动平台连接于所述多自由度移动平台的一端，T轴移动平台采用第一驱动电机和第...

本申请公开了一种减薄辅助制备pMUT器件的方法及其应用，属于压电微机械超声换能器技技术领域。该方法通过将压电单晶晶圆键合到临时衬底上并对其进行减薄抛光的方式获得压电单晶薄膜，接着在压电薄膜晶圆表面沉积pMUT的下电极，随后将晶圆下电极面...

本申请公开了体声波滤波器及其制备方法、射频模组。体声波滤波器至少包括：衬底；第一膜层，第一膜层位于衬底的一侧，第一膜层包括第一区域以及环绕第一区域的第二区域，第二区域内具有环绕第一区域设置的感光干膜；压电薄膜，压电薄膜位于第一膜层远离衬...

本发明公开了一种兰姆波谐振器和兰姆波谐振器的制造方法，所述兰姆波谐振器包括：衬底，所述衬底上具有空腔；压电层，所述压电层设在所述衬底上表面；多个顶电极，多个所述顶电极设在所述压电层的上表面；多个底电极，多个所述底电极设在所述压电层的下表...

本申请公开了一种Kappa角获取方法、校准方法、补偿方法、装置、系统和介质，属于人眼模拟设备技术领域。Kappa角获取方法包括：对标定系统的激光发射器进行校准，以使激光发射器发射的激光光路与人眼模拟设备的光轴重合；控制人眼模拟设备对激光...

本申请公开了一种带力反馈的无触超声手势操控模组及其使用方法和应用，属于智能穿戴设备技术领域。该模组兼具凌空触觉反馈功能，主要包括压电微机械超声换能器阵列芯片和用来生成控制信号的ASIC芯片，其中压电微机械超声换能器阵列芯片可以产生超声波...

本申请涉及一种跨介质飞行器的控制方法及跨介质飞行器的控制装置。所述方法包括：获取跨介质飞行器的飞行模式调节指令以及环境介质信息；若所述环境介质信息为液体，则控制所述跨介质飞行器执行出水动作，直至所述环境介质信息为气体；若所述环境介质信息...

本申请提供了一种压阻式传感器以及传感器，其能够通过施加给该压力模拟结构的不同的电压，可模拟该压阻传感器结构所受外界压力的大小，并通过调整该压阻传感器结构的驱动电压，该处理器计算得到该压阻传感器结构的电阻值，从而得到PUF技术所需的激励‑...

本申请涉及一种MEMS/NMES传感器，可应用PUF密钥技术，包括：电源模块、处理器、存储模块、接口模块、传感器模块；该电源模块用于为处理器、存储模块、接口模块、和传感器模块提供电源，该电源模块包括电池和电压调整模块；该处理器与该传感器...

本发明涉及一种多孔氧化硅微球及其制备方法，该多孔氧化硅微球的制备方法，包括以下步骤：向硅烷偶联剂的水溶液中加入酸调节pH至酸性进行水解反应，得到水解产物；向水解产物中加入碱调节pH至碱性进行缩合反应，得到缩合产物；将缩合反应的产物进行煅...

本发明涉及一种均三嗪基修饰的氧化硅微球及其制备方法和应用，该均三嗪基修饰的氧化硅微球的制备方法，包括以下步骤：将末端含有氨基的硅烷偶联剂进行水解反应，得到末端含有氨基的硅醇；将末端含有氨基的硅醇与2,4,6‑三卤代‑1,3,5‑三嗪进行...

本申请公开了一种基于压电单晶薄膜的微机械超声换能器的制备方法，属于压电MEMS器件技术领域。该制备方法包括如下步骤：提供POI晶圆，所述POI晶圆的一面为压电单晶薄膜；在POI晶圆的压电单晶薄膜表面上依次沉积下电极层、结构层，得到结构A...

本申请提供了一种半导体制造设备、半导体制造方法，涉及半导体技术领域，旨在提高生产效率。该半导体制造设备包括壳体、晶圆盒和多种工艺装置，其中，壳体包括腔室，晶圆盒设置于腔室内，晶圆盒包括多个容片槽，容片槽用于容纳晶圆。工艺装置包括装卸室，...

本发明公开了一种热释电红外探测器和热释电红外探测器的制造方法，所述热释电红外探测器包括：衬底；底电极层，所述底电极层设在所述衬底的上方且与所述衬底通过键和层相连，所述底电极层具有向上凸起的电极部；热释电功能层，所述热释电功能层设在所述底...

本公开涉及激光光学检测技术领域，提供了一种微纳涂层无损检测装置及微纳涂层无损检测方法，该装置包括位移载台、中红外激光器、激光测振仪、信号处理模块和位移载台控制器；位移载台能够沿多个不同方向移动待测器件；中红外激光器用于向待测器件发射不同...

本申请公开了一种钽酸锂单晶薄膜制备方法及其应用，属于半导体技术领域。该制备方法包括如下步骤：提供载片、铌酸锂单晶衬底；在所述铌酸锂单晶衬底上外延生长钽酸锂单晶层；将所述铌酸锂单晶衬底的所述钽酸锂单晶层一面与所述载片通过固化胶进行键合，得...

本公开涉及激光光学检测技术领域，提供了一种亚微米级异物无损检测装置及亚微米级异物无损检测方法，该装置包括移动载台、中红外激光器、激光测振仪和信号处理模块；中红外激光器用于向待测样品件发射不同波长的中红外激光；信号处理模块与激光测振仪电连...