东莞市先生智能科技有限公司专利技术

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  • 本发明公开了一种单双面晶圆电镀装置,涉及晶圆加工技术领域,包括电镀槽体和挂架,所述电镀槽体内部对称设有挂架,所述挂架设置在伸缩挂杆上,所述电镀槽体内部与挂架一侧位置处均设有电极板,所述电极板端部均电性连接设有导线,所述底座上端设有药液循...
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