本发明提供一种摆动快门装置及分子束外延设备，涉及分子束外延技术领域，摆动快门装置包括：支撑座，设于源炉的喷射口下方；挡板，设于源炉的喷射口前侧，挡板的下端连接有摆臂，摆臂配置成能够相对支撑座旋转；连杆第一端与摆臂铰接；升降组件牵拉连杆以...

本申请涉及一种束源炉及分子束外延设备，属于半导体制造领域。其中束源炉包括：坩埚；加热组件，套设于坩埚；加热组件包括：发热件，间隔设置在坩埚的周向，发热件均沿坩埚的轴向延伸；固定装置，配置为固定发热件的位置；固定装置包括支撑环和固定件；支...

本申请涉及一种分子束外延源炉及分子束外延设备。包括：坩埚；加热组件，套设于坩埚；加热组件包括：加热丝，包括间隔设置在坩埚周向的多个，加热丝均沿坩埚的轴向延伸；支撑环，至少包括两个，在坩埚的轴向间隔设置；加热丝穿设在支撑环上；隔热筒，套设...

本申请涉及一种源炉的流量阀控制系统及其控制方法。包括：流量阀，配置为通过调节开度，控制源炉的实际流量；流量阀连接源炉；置传感器，配置为监控流量阀的阀芯的位置，以监控流量阀的开度；伺服电机，配置为驱动阀芯的运动，以调节流量阀的开度；扭矩传...

本申请提供一种衍射图像分析方法、处理方法、装置、设备和存储介质。衍射图像分析方法包括：获取对样品的生长过程采集的多帧衍射图像，衍射图像包含由高能电子束与样品相互作用产生的电子衍射图案；在衍射图像中确定ROI，并获取ROI的图像帧序列和光...