本发明涉及一种测量层厚和/或者距离的方法和太赫兹测量设备，其中，从太赫兹收发装置4中沿着光轴C向待测量对象2,102发射至少一束太赫兹光束7a，并且检测经过所述待测量对象2,102的至少一层壁3并被反射回来的太赫兹反射光7，其中对所述检...