本发明涉及通过热喷镀，尤其通过等离子体喷镀制备靶的方法，所述靶包含至少一种选自耐火金属、电阻氧化物、挥发性氧化物的化合物，其特征在于在受控气氛中通过热喷镀在该靶的至少一部分表面上喷镀至少一部分所述的化合物，所述化合物呈该化合物的粉末组合...