本技术涉及半导体制造技术领域，公开了用于硅的刻蚀设备，包括轨道、刻蚀箱和清理箱，轨道上安装有若干个行走车，行走车的侧壁竖直固定安装有电动丝杠模组，电动丝杠模组的滑台竖直固定安装有一级负压管道，一级负压管道水平连通安装有若干个二级负压管道...

本技术涉及芯片加工技术领域，公开了一种芯片加工用打标机，包括打标机主体，打标机主体的前表面左侧固定安装有箱柜，箱柜的内部固定安装有支撑架，支撑架的顶部固定安装有心形导向板，箱柜的顶部开设有心形导向口，心形导向板和心形导向口之间形成心形导...

本技术涉及视觉检测技术领域，公开了一种半导体视觉检测用工作台，包括基座和摄像头，基座的上表面固定安装有第一支撑座、支撑架和第二支撑座，支撑架竖直固定安装有第一电机，第一电机的输出端固定安装有连杆，连杆的上端固定安装有盛放盘；第二支撑座的...