一种物理气相沉积蒸镀机的磁性过滤装置，设置在蒸镀机的溅镀靶出口，包括有管体及设于管体外部周缘的磁场产生机构；其中，该管体具有入口端、出口端及形成于上述二者之间的弯曲部；该入口端连接于溅镀靶的出口，通过改变该磁场产生机构的磁场强度，来控制...

一种物理气相沉积蒸镀机的磁性过滤装置，设置在蒸镀机的溅镀靶出口，包括有管体及设于管体外部周缘的磁场产生机构；其中，该管体具有入口端、出口端及形成于上述二者之间的弯曲部；该入口端连接于溅镀靶的出口，通过改变该磁场产生机构的磁场强度，来控制...