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沉积科学公司专利技术
沉积科学公司共有6项专利
改善的IR涂层和方法技术
具有包含介于一对末端部分之间的发光室的石英本体的灯头。灯丝可以设置在该发光室中,并在该本体的至少一部分上提供多层光学涂层。该涂层可以包含多个包含氧化硅的第一材料的层,多个包含金红石二氧化钛的第二材料的层、和多个折射指数介于所述第一材料的...
高增益涂层与方法技术
一种包含石英本体的卤素白炽灯灯头,所述石英本体包含发光室、设置在该发光室中的灯丝和在该室的至少一部分上的多层光学涂层。该涂层可以包括多个低折射指数材料和高折射指数材料的层,具有至少9微米的总厚度,其中该灯头的增益为至少1.7。该高折射指...
用于多结太阳能电池的减反射涂层制造技术
一种在外表面上具有多层型减反射涂层的光伏太阳能电池。该涂层可以包括二氧化硅和五氧化二钽的交错层,并且对于300nm-1850nm的波长可以具有小于5%的平均前表面反射率,二氧化硅对于550nm的波长具有小于1.4的折射率。
光谱选择性涂层制造技术
多层反射涂层和装置,其采用这样的涂层,所述涂层包含铝层和银层以及位于铝层与银层之间的阻挡层。所述阻挡层可为基本光学透明的,且由基本抑制铝与银之间的相互扩散的材料形成。该涂层还可包括位于银层上方的包覆层。可由氮化物、氧化物和氧氮化物形成阻...
用于低成本高速率沉积工具的方法和装置制造方法及图纸
一种装置和方法用于在一组基片上沉积材料。该组基片可以以第一角运动经过一个或多个沉积材料源。该组基片还可以同时进行第二角运动。第一和第二角运动的组合使得各基片在没有齿轮和轴承的情况下绕它的纵向轴线运动。
薄膜涂覆系统和方法技术方案
一种用于在基片上沉积薄膜的方法和系统。在系统中,目标材料沉积在基片表面上并进行反应,以便形成基本无吸收薄膜。每单位时间形成的无吸收薄膜的容积可以这样增加,即通过使得表面面积增加到“x”倍,并使得目标材料沉积速率增加到大于倍数“x”的倒数...
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