本发明是一种晶圆探针卡对位方法及其装置，包括提供一定位基板，底部形成一朝向下方的水平表面，且所述的水平表面下方具一驱动器，一可摆放晶圆探针卡的座台，滑设在所述的水平表面下方与所述的驱动器之间，并接受所述的驱动器驱动而往上位移，而使所述的...