本实用新型公开了一种全柔性热释电红外探测器，涉及热释电传感器结构设计领域，包括柔性红外辐射调制机构以及柔性红外敏感单元；所述柔性红外辐射调制机构为单端或双端支撑金属薄膜悬臂梁，通过在悬臂梁与柔性红外敏感单元上电极层之间施加一定频率的电压...

本发明公开了一种全柔性热释电红外探测器，涉及热释电传感器结构设计领域，包括柔性红外辐射调制机构以及柔性红外敏感单元；所述柔性红外辐射调制机构为单端或双端支撑金属薄膜悬臂梁，通过在悬臂梁与柔性红外敏感单元上电极层之间施加一定频率的电压信号...