本发明公开了一种半导体器件表面自动化清洗检测一体设备，其包括：机体，其前侧端面装配有竖向滑动设置的升降门；主清洗槽，设置在机体内为位于升降门的下方，所述机体内位于主清洗槽的一侧配置有副清洗槽；照明系统，设置在机体内位于主清洗槽与副清洗槽...