本发明公开了一种提高反射光谱法测量薄膜厚度精度的系统，其特征在于，包括：白光光源，用于发射宽光谱范围的光；主光谱仪，用于测量被测物体的反射光谱；监控光谱仪，用于实时监测光源的光谱强度；光纤组件，包括多芯光纤和单芯光纤，用于将光从光源传导...