本发明涉及晶圆传输设备的技术领域，尤其涉及一种晶圆载具的真空吸附型手指及其制造方法，包含有手指本体和机械臂本体；所述手指本体的表面开设有若干吸附气孔，所述手指本体的内部开设有与若干吸附气孔相接通的气道，所述气道的一端开设有进气口；所述手...

本发明涉及晶圆传输的技术领域，尤其涉及一种真空吸附型陶瓷手指及其制造方法，包含有陶瓷基体，所述陶瓷基体的内部开设有真空气道，所述陶瓷基体的正面开设有吸附晶圆本体的弧形气口，所述弧形气口的弧度与晶圆本体的边缘相适配；所述陶瓷基体上设置有可...

本发明涉及晶圆传输的技术领域，尤其涉及一种晶圆传输夹持治具，包含有若干手指本体和集合基座，若干手指本体叠放设置于集合基座的开口一侧且相邻手指本体之间存在距离差；所述手指本体的四侧设置有可居中位移的夹持件，四侧所述夹持件的下端设置有柔性驱...

本发明涉及陶瓷手指检测技术领域，尤其涉及一种陶瓷手指状态检测方法及系统，方法包括：基于陶瓷手指在单个工作循环内的运动与停顿，分别采集动态数据和静态数据；采集陶瓷手指在初始健康状态下多次工作循环内的动态数据和静态数据，生成健康状态集；获取...

本发明涉及材料质量检测技术领域，尤其涉及一种高纯易烧结氧化铝粉体质检方法及系统，方法包括：收集氧化铝粉体制备的工艺参数；对氧化铝粉体进行表征测试，检测氧化铝粉体的质量信号；构建氧化铝粉体的烧结性能预测模型，将工艺参数和质量信号输入烧结性...

本发明涉及设备表面评估技术领域，尤其涉及一种圆晶传输机械手指表面评估方法及系统，方法包括：采集圆晶传输机械手指表面的图像数据和定量参数，得到多模态数据集；将多模态数据集在空间坐标系上进行配准，对配准后的多模态数据进行关联分析，得到关联分...

本发明涉及晶圆制造技术领域，尤其涉及一种真空吸盘组合式陶瓷手指及其加工方法，通过真空吸取方式承载晶圆，气道出口外围设置有环体结构，晶圆通过气道抽真空吸附在环体结构上，环体结构硬度低于陶瓷基体硬度；环体结构与陶瓷基体粘接固定，粘接界面通过...

本发明涉及晶圆传输的技术领域，尤其涉及一种边缘夹持型陶瓷手指及其制造方法，包含有叉型主体与一对分支侧体，一对分支侧体对称分布于叉型主体的两侧且与其滑动配合；所述叉型主体的分叉末端设置有一对限位块一，所述分支侧体的末端向外延伸且铰链连接有...

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种具有真空吸附调整功能的陶瓷手指晶圆搬运装置及系统，其中装置包括：陶瓷手指包括接触晶圆的承接台阶和抓取晶圆的吸附组件；真空生成机构与吸附组件连接，为晶圆提供吸附力；检测机构测量晶圆的重量与承接台阶...

本发明涉及半导体设备工程与自动化控制技术领域，尤其涉及一种晶圆搬运手指动态惯性模拟调整系统及装置，系统包括：惯性模拟模型，基于晶圆质量、半径、厚度以及搬运路径的加速度曲线建立动态惯性模型，输出加速度曲线和惯性力变化趋势；数据采集模块用于...

本发明涉及机器人避障技术领域，尤其涉及一种面向晶圆传输机器人的多模态实时避障方法及系统，方法包括：通过多模态数据采集装置实时采集环境数据，得到多模态环境数据；对多模态环境数据进行时空对齐，建立工作空间地图；收集动态障碍物的运行数据，将运...

本发明涉及误差补偿技术领域，尤其涉及一种基于晶圆偏移的晶圆传输机器人的智能补偿方法及系统，方法包括：布置点云采集系统，获取晶圆的三维点云数据；对三维点云数据进行特征提取，得到形貌特征参数；构建位姿预测模型，将形貌特征参数输入位姿预测模型...