本实用新型公开了一种卧式方形碳化硅烧结炉，包括炉体、真空泵、罗茨泵，所述真空泵和罗茨泵固定在基座上，所述真空泵通过真空管道与罗茨泵连接，所述罗茨泵通过罗茨管道与炉体连接，炉体底部设有与之固定的底座，其特征在于：所述炉体顶部设有防爆阀，炉...

本实用新型公开了一种卧式方形高温石墨化炉，包括炉体、炉盖、和真空泵，所述真空泵通过真空管道与炉体连接，所述炉体下设有与之固定连接的底座。所述炉盖通过开盖装置与炉体连接，所述炉体内设有与炉体固定连接的内支撑平台，内支撑平台上设有方形感应线...