本技术公开了一种晶圆抛光液残留清洗装置，涉及硅片加工装置技术领域，该装置包括清洁刷，所述清洁刷转动连接在滑动组件中，所述滑动组件上方还配合设有一个转动连接块，所述清洁刷包括一个清洁刷盘，所述清洁刷盘上固定连接有一个转动轴体，所述转动轴体...

本技术公开了一种抛光液搅拌乳化装置，涉及乳化设备技术领域，该装置包括抛光液搅拌罐，所述抛光液搅拌罐的上端设有加料口，所述抛光液搅拌罐的下端设有出料口，所述抛光液搅拌罐的上端设有搅拌机构和高剪切乳化机，所述搅拌机构位于抛光液搅拌罐的中心位...