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财团法人激光技术综合研究所专利技术
财团法人激光技术综合研究所共有1项专利
光刻胶剥离除去方法及装置制造方法及图纸
一种光刻胶剥离除去方法及装置,利用传送装置(C)传送包括带有光刻胶的基板的电路板(K),来自激光发生装置(10)的所定强度的短脉冲激光被传往光刻胶,通过照射头(12)将激光变换到所定宽度和长度的带状激光并照射到光刻胶上,加宽调整此时的照...
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