提供了一种对半导体集成电路内的冗长电路的导电连接进行切割的方法和装置。在选择性地切割多个被保护层掩埋的导电连接的方法中，所述保护层至少覆盖半导体衬底上形成的半导体集成电路内的导电连接，将聚焦光束定位在作为目标的连接上，产生第一脉冲激光和...

提供一种通过超短脉冲有效地对被加工物体进行加工的方法。一种基板等的激光加工方法。对相对于被加工物体为透明波长的超短脉冲激光进行聚光，从表面向被加工物体的背面照射，使聚光后的激光束腰位置与被加工物体的背面间隔开。由此，由在被加工物体内的激...

提供一种采用薄板形状之类的低放大增益的激光介质的稳定脉冲高重复率激光发生装置。在固体激光振荡器中具有：至少一对激光谐振腔；作为激光介质采用薄板形状的激光介质，其内添加有具有比重复工作的周期长的上能级寿命的活性物质；在激光谐振腔内的至少一...

提供一种高效率、高稳定的激光谐波发生装置。在往复光路上形成掺杂了ＭｇＯ或ＺｎＯ的ＰＰＬＴ（周期性极化了的钽酸锂）、ＰＰＳＬＴ（周期性极化了的化学计量钽酸锂）、ＰＰＬＮ（周期性极化了的铌酸锂）、ＰＰＳＬＮ（周期性极化了的化学计量铌酸锂）等...

本发明提供一种稳定的激光加工装置，使固体激光器的脉冲输出稳定地照射加工对象物从而进行微细加工。该激光加工装置包括用于对设置于激光共振器内的Ｑ开关元件（６）和激光介质（５）进行预先光激励的激励用激光振荡器（４６），和将激光介质内的高位能级...

本发提供一种使用短脉冲激光去除和修正突起来修正滤色器的方法。在本发明提供的滤色器的修正方法中，对透明基板（２）上形成的滤色器（３－１，３－２，３－３）中产生的突起（８）照射由高ＮＡ聚光透镜（１８）会聚的射束，并使射束在透明基板（２）上沿...

本发明涉及一种基于超短脉冲有效地进行加工的方法。将第一激光超短脉冲光和第二激光超短脉冲光照射到加工物体，所述第一超短脉冲光具有近红外的第一波长；所述第二超短脉冲光具有从第一激光超短脉冲光通过使用非线性光学晶体单元进行波长变换得到的紫外区...