本实用新型涉及一种晶圆自动装载设备，其特征在于，该设备包括主板装置、盒盖开盒装置、晶圆存储盒传输装置、盒盖传输装置、晶圆检测装置、控制系统和传感器组件；主板装置前侧上部活动连接盒盖开盒装置，盒盖开盒装置下方的主板装置前侧固定设置晶圆存储...

本发明涉及一种晶圆自动装载设备，其特征在于，该设备包括主板装置、盒盖开盒装置、晶圆存储盒传输装置、盒盖传输装置、晶圆检测装置、控制系统和传感器组件；主板装置前侧上部活动连接盒盖开盒装置，盒盖开盒装置下方的主板装置前侧固定设置晶圆存储盒传...