本申请公开了一种四自由度解耦的反射镜装调方法，涉及光学仪器的技术领域，其包括安装出射镜组、安装和调节反射机构、校验调节以及安装入射镜组四个过程，通过反射机构的第一方向的移动、入射镜组第二方向的移动以及反射镜在正交两个角度方向上的摆动形成...

本申请涉及微小行程运动台控制领域，特别是涉及一种微小行程运动台的旋转轴标定方法、装置、设备和系统，方法包括：在微小行程运动台以目标虚拟旋转轴按旋转角度依次转动，使台面上的被测平板处于不同位置，以获取多个平面数据，每个平面数据包含被测平板...

本发明公开了一种抛光磨头装置，涉及抛光技术领域。抛光磨头装置包括：抛光头主体；端盖，可轴向滑动地连接于抛光头主体；抛光组件，可拆卸固定连接于端盖，在轴向上，抛光头主体、抛光组件设于端盖的两侧；弹性组件，连接于端盖和抛光头主体之间，用于使...