本实用新型公开了一种分子泵调试台，所述调试台由多个调试台单元组合，每个调试台单元均包括有机架、分子泵电源、真空计、控制面板以及排气系统，所述机架上放置两台待调试分子泵，所述分子泵电源、真空计及控制面板置于所述机架的后侧上方；所述排气系统...

本实用新型公开了一种分子泵的转子，在转子的每层转子叶片之间不留间隙，并去除原分子泵转子中的定片。通过调整叶片层厚度、叶片角度，将每层叶片的数量设计成一样。所述转子的各层叶片通过沿轴线旋转被设计成相邻层叶片首尾相连的结构。基于所述相邻层叶...

本实用新型公开了一种电子枪电源中电子管的控制结构，所述控制结构包括单片机和外围数字电路，其中所述单片机与电子枪电源中的电子管电连接；所述外围数字电路与所述单片机电连接。利用本实用新型所述的控制结构减少了元器件数量，使电路更简单，降低了功...

本实用新型公开了一种热偶真空计用的隔离恒流电路，包括程控模块、信号隔离模块和恒流控制模块，其中：所述程控模块包括单片机控制的数模转换器；所述程控模块与所述信号隔离模块电连接；所述信号隔离模块与所述恒流控制模块电连接。所述信号隔离模块的输...

本实用新型公开了一种用于ICP试验台的感应线圈，所述感应线圈采用镀银铜管绕制，并采用螺旋线形式绕制3圈；在所述感应线圈的两端焊接有进水咀和出水咀。在所述感应线圈上加装有4个固定板进行加固。且所述固定板的孔直径等于所述镀银铜管的直径，所述...

本发明公开了一种新型单坩埚e型电子枪的结构，所述e型电子枪的坩埚中心与灯丝中心的位置由灯丝中心与坩埚中心的水平距离l、电子轨迹最高点与极靴上端面的距离h、电子运动轨迹半径R共同决定。采用该结构的电子枪功率高、容量大、性能稳定，提高了电子...

本发明公开了一种分子泵的转子，在转子的每层叶片之间不留间隙，并去除原分子泵转子中的定片，直接将各层叶片层联接；并通过调整不同层叶片的抽速与压缩比，使所述转子整体各层叶片的抽气效能相互衔接。所述各层转子叶片被设计成相邻层叶片首尾相连的涡轮...

本实用新型涉及一种转子，尤其涉及一种用于分子泵的大抽速抗大气冲击的分子泵转子，包括转子主体，转子主体为中空筒体，其内部中心设置有转轴安装孔，转子主体顶端直径大于底端直径，在转子主体的外表面挖设有螺旋形牵引级沟槽，牵引级沟槽的深度从上到下...

本实用新型属于流体机械技术领域，尤其涉及一种用于半导体、节能灯、太阳能制造行业中用于获得真空的一种抗大气冲击的分子泵转子，包括中空的圆柱形转子主体，转子主体内部中心位置设置有转轴安装孔，其特征在于：所述的转子主体的表面上挖设有螺旋形牵引...

本实用新型属于流体机械技术领域，尤其涉及用于半导体、节能灯、太阳能制造行业获得真空的一种抗大气冲击的分子泵，本分子泵包括底盘，底盘中部安装有电机，转子扣装在底盘上，泵壳通过螺钉固定扣装在转子与底座上，泵壳顶部设有进气口，底盘侧面靠近底部...

本实用新型涉及一种用于分子泵的牵引级，尤其涉及一种用于分子泵的筒式牵引级，包括转子和定子，所述转子与定子之间留有间隙，所述定子内壁设置有环形阶梯，且环形阶梯内壁的直径与其相对应的转子部分的最大直径形成间隙配合，从进气端到排气定子直径逐渐...

本实用新型公开了一种射频自动匹配的调整装置，属于射频匹配领域。该装置包括：驱动装置、主同步轮、从同步轮和齿形传动带；其中，主同步轮设置在所述驱动装置的动力轴上；主同步轮经所述齿形传动带驱动所述从同步轮，从同步轮的转轴用于连接被调节的可变...

本发明属于流体机械技术领域，尤其涉及用于半导体、节能灯、太阳能制造行业获得真空的一种抗大气冲击的分子泵，本分子泵包括底盘，底盘中部安装有电机，转子扣装在底盘上，泵壳通过螺钉固定扣装在转子与底座上，泵壳顶部设有进气口，底盘侧面靠近底部设有...

本实用新型公开了一种牵引级复合分子泵，包括：泵壳固定设在底盘上；主轴座设在底盘上，主轴经主轴座设在底盘上，主轴顶端设在泵壳内；电机驱动主轴；转子体固定设在泵壳内的主轴上，转子体外周上沿轴向固定设置至少一层涡轮动叶片；沿转子体轴向设置至少...

本实用新型公开了一种基于气动控制的真空室门开闭装置，属于真空室门的控制装置。该装置包括：支撑板、支撑部件、第一气缸单元、第二气缸单元和连板；其中，支撑板活动设置在支撑部件上，能沿支撑部件水平滑移；第一气缸单元的气缸杆与支撑板固定连接，能...

本实用新型公开了一种真空室门锁紧装置，属于真空设备用的锁紧机构。该装置包括：锁紧座，固定连接设置在真空设备的真空室体上；门锁轴，固定连接设置在所述真空设备的真空室门上；锁紧体，活动设置在所述门锁轴上，能在所述门锁轴上转动；所述锁紧座的自...

本实用新型公开一种用于真空镀膜设备的真空阀，属真空镀膜设备的控制阀领域。该真空阀包括：阀体、气缸和阀盖；阀体内为中空结构，阀体上设有真空容器连接口、低真空泵连接口和高真空泵连接口，真空容器连接口经阀体内与低真空泵连接口、高真空泵连接口连...

本实用新型公开了一种电子枪坩埚的水冷装置，该水冷装置包括：坩埚、坩埚托、出水口和进水孔；其中，所述坩埚设置在坩埚托上，坩埚与坩埚托之间设成环形水道，所述环形水道沿所述坩埚外壁内设置；所述出水口设置在所述坩埚托的中间部位，与所述环形水道的...

本实用新型公开了一种电子枪用坩埚换位装置，属于坩埚换位机构。该装置包括：连接坩埚的坩埚连接部；传动轴，其顶端与坩埚连接部连接；密封座，套设有所述传动轴外；电机固定座，设置在所述密封座下方，通过支柱与所述密封座固定连接；步进电机，设置在所...

本实用新型公开了一种电子枪坩埚的冷却装置，属于镀膜机的电子枪坩埚用的冷却装置。该装置包括：圆筒状本体，其上端开口，开口内设有容置电子枪坩埚的空间；所述圆筒状本体上设有连通圆筒状本体内外的两个透水孔；所述圆筒状本体内沿侧壁设有弧形通道，所...