本发明涉及一种用于控制或测量流体的装置(1)，包括：‑基部部件(2)；‑用于测量、控制或调节流体的微制造部件(3)；‑入口流动通道(4)，从该基部部件中的流入口(34)延伸到该微制造部件的流入口(5)；和‑出口流动通道(6)，从所述微制...

本发明涉及一种用于流量计的热式流量传感器(1)，包括：主通道部分(3b)，带有用于待确定流量的介质的主通道(3)；传感器管(4)，其具有第一管部(5)、相对的第二管部(8)、连接第一管部和第二管部的感测部(11)、用于测量传感器管中的温...

本发明涉及一种微机电系统(MEMS)部件或微流体部件，包括自由悬挂式或自立式微沟道(1)，以及一种用于制造这样的微沟道的方法，以及一种流量传感器，例如热流量传感器或科里奥利流量传感器、压力传感器或多参数传感器、阀门、泵或微换热器，包括这...

一种超声波流量测量系统(1)，包括流管(11)、超声波阻尼层(12)、被超声波阻尼层覆盖的超声波发射器(13)和被超声波阻尼层覆盖的超声波接收器(14)，其特征在于，超声波阻尼层包括：

本发明涉及一种热型流量计，该热型流量计包括用于待确定其流量的介质的流量管，具有连接到该流量管的入口和出口的传感器管，该传感器管包括用于测量温度差以确定流量的热流量传感器，设置在流量管处以测量流的压力的压力传感器，设置在流量管处以测量流的...

本发明涉及一种制造微加工通道的方法，包括以下步骤：提供第一材料的基底并具有位于该基底中的不同材料的埋层；以及，通过去除所述基底中的至少一部分从而在所述基底中形成至少两个沟槽。所述沟槽彼此隔开一距离，至少部分地基本上平行于彼此延伸，以及朝...

本发明涉及一种科里奥利流量传感器，其包括至少一个科里奥利管，其中流量传感器包括用于使管振荡的激励装置，以及用于检测管的部分在操作期间的至少一位移量的检测装置。根据本发明，检测装置包括位于科里奥利管两侧的两个检测元件，其中检测元件彼此部分...

本发明涉及一种超声波流量测量系统，该超声波流量测量系统包括用于待确定其流速的流体的流动管和至少两个超声换能器电路。至少两个超声换能器电路中的至少一个超声换能器电路包括超声波发射器，超声波发射器被布置成为在发射阶段中发射超声波信号以通过所...