使用阴极发光显微镜检查具有μLED的晶圆。通过将CL光束分离成几个光束并用点检测器感测光束来执行快速扫描。以光学滤光器插入检测器上游的光路中，使得每个检测器感应不同的频带。计算信号的比率，并将所述比率与预期参考比较。识别出极端值的区域，...

阴极发光显微镜及方法，用于识别和分类半导体样品内的位错。从样品同时获得至少两个CL偏振图像。将各图像的数值相加以获得总密度图像。取得图像的归一化差值，以获得偏振度(DOP)图像。比较总密度图像和DOP图像，以区别出样品内的刃型位错和螺型...

通过在具有电子束和光传感器的阴极发光(CL)显微镜中产生时间序列的射线以研究样本的方法。在探索扫描中，由电子束引起的变化是未知的，而在检查扫描中，类似样本的变化已经被识别。如此开始探索扫描：设置电子束的参数，从而以第一剂量率进行辐射；清...

一种具有电子柱的扫描电子显微镜，该电子柱定位成将电子束引导到样品上，该电子柱具有：真空外壳；电子源；以及定位在真空外壳内的电磁物镜，该电磁物镜包括壳体，该壳体在其顶面具有入口孔径且在其底部具有出口孔径；径向定位在壳体内的电磁线圈；光物镜...