一种用于光学系统的照明单元，包括一个依次配列有一个辐射源单元和一个第一集光器的照明系统和一个包括一个测量照射剂量的光敏检测器的检测系统，所述照明单元的特征是：所述照明系统还包括一个第二集光器，而所述两个集光器封住了一个至少有一个棱镜的棱...

本发明描述了一种用于测量第一个物体（ＷＨ）和第二个物体（ＭＨ）相互位置和运动的差分干涉仪系统，该系统包括带有第一测量反射器（ＲＷ）的第一个干涉仪部件（１，２，３，４），和带有第二测量反射器（ＲＭ）的第二个干涉仪部件（５，６，７，８）。由...