提供一种能有助于控制用于加工衬底（１０）的电解液流体和电场分布的设备（３００）。该设备包括一个具有一个预先确定形状的顶部表面和一个底部表面的刚性构件（３２０）。刚性构件（３２０）包括多个沟道（３２４），每个沟道都形成一个从底部表面到顶部...

一种可以将溶液提供至基底表面的阳极组件（ａ），该阳极组件（９）包括一形成内部壳体容积的壳体，流体可以流入该内部壳体容积中。一个用于该内部壳体容积的挡板，溶液可以通过挡板从内部壳体容积排到基底表面。一个过滤器（１６２），内部壳体容积被该过...