一种用于在微机电系统(MEMS)中精确定位可移动结构的系统和方法。该系统包括衬底和支撑于所述衬底的可移动的器件结构。所述器件结构可从初始位置移动到与所述衬底成预定偏移角度的部署位置。可移动的锚定结构支撑于所述衬底靠近所述器件结构。当所述...