一种用于在加工区域加工工件（132）材料的气体通量控制系统（100）。该系统包括：模块（102），包括电场室，用于从优选连续的输入气体流产生并输出离子化气体通量（115）；以及控制和监测设备（104），至少在功能上与该模块（102）相连...