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安德里亚·巴奇尼专利技术
安德里亚·巴奇尼共有2项专利
用以容纳基材的装置及其制造方法制造方法及图纸
一种用以定位且移动基材或晶圆的容纳装置,包含基底本体与至少一个支撑表面,该至少一个支撑表面位于该基底本体上,并且该基材可设置在该至少一个支撑表面上。该容纳装置包含一或多个金属材料构件,所述金属材料构件实体上联合该基底本体,并且能够作用成...
处理基板的设备及方法技术
一种用以处理基板(150)的设备,包含:支撑构件(131),用以支撑该基板(150);输入构件(111),能够将该支撑构件(131)定位于第一位置(“1”、“3”)中;检测构件(200),能够检测放置在位于该第一位置(“1”、“3”)中...
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