搭载于极低温冷冻机用的压缩机的油分离机(10)具备：第一筒状部(11)，其具有沿着垂直方向而延伸的筒状，且具备连通第一筒状部(11)的内与外的第一连通部(11a)；导入管(12)，其沿着垂直方向而延伸，将含油的制冷剂导入第一筒状部(11...

本发明提供能够抑制排气容量的减少的低温泵。具备：冷冻机(11)；辐射屏蔽部(12)，具备：筒状部(12A)，具有导入外气的导入口(12A1)；底部(12B)，封闭与筒状部(12A)的导入口(12A1)相反的一侧的开口；以及贯通孔(12A...

本发明提供低温泵和低温泵用绝热构造体，能够抑制低温泵的外表面上的结露的产生，提高绝热构造体的机械强度。具备：泵壳(11)，具备第1筒状部(11A)以及封闭第1筒状部(11A)中的一个端部的底部(11B)；第1绝热构件(21)，具有第一导...

提供能抑制水分附着于冷冻机及冷却对象的维护装置及维护方法。维护装置(10)具备第1手套箱(11)，第1手套箱(11)构成为能与被冷却对象连接，该被冷却对象与冷冻机的气缸连结。第1手套箱(11)划定用于收纳冷冻机部分的第1手套箱空间，冷冻...

提供能够提高排气性能的低温泵及低温泵用挡板。挡板(14)包括：第1部分(14A)，包括挡板(14)的中心(14C)，形成有贯穿挡板(14)的第1孔(14AH)；和第2部分(14B)，包括挡板(14)的边缘(14E)，形成有贯穿挡板(14...

本发明提供能够减少装置的设置占有面积并能够变更取出口的位置的低温液化气体产生装置。本发明的一个方式所涉及的低温液化气体产生装置具备储存罐、气体导入器、冷冻回路、送出配管以及壳体。所述储存罐储存液化气体。所述气体导入器向所述储存罐导入要液...

本发明提供一种能够在真空气氛的腔室内可靠地边冷却边运送被传送物的具有结构简单的冷却结构的传送装置。具有卷绕在至少两个辊(20、30)上、外表面上载置有基板(S)并环绕行进的传送带(10)。以位于各辊间彼此逆向行进的传送带的部分中载置有被...

本发明提供一种振动被衰减的低温泵和真空处理装置。支承马达部（23）、冷冻部（24）和低温泵内部零件（35）的重量的马达部侧凸缘（44）借助防振装置（5）固定在泵壳侧凸缘（42）上。泵壳侧凸缘（42）经由泵壳（33）固定在真空室（16）上...

本发明提供一种能抑制收纳有冷却对象的空间中的排气速度下降的冷却装置。冷却装置具备冷却部和被冷却部冷却的冷却体。冷却体包括与冷却部连接的第1面(12a)和第1面(12a)相反侧的第2面(12b)。冷却体(12)进一步包括使气体在第1面(1...

本发明提供一种能抑制冷却效率的下降的冷却装置。冷却装置(10)具备：冷却部件(11)，其包括吸热面(11a)和凝结面(11b)；以及冷却部(12)，其与凝结面(11b)连接。冷却部件(11)包括第1部分和热阻比第1部分高的第2部分，在冷...

本发明的低温冷阱在与作为被脱气空间的腔室连接的箱体内，由机械式冷冻机冷却的低温板被设置为与箱体壁隔开，其中，所述低温板的板面被设置为朝向所述腔室内的脱气对象，所述低温冷阱具备被设置于所述板面的前方的孔板。

本发明的低温冷阱在与作为被脱气空间的腔室连接的箱体内，由机械式冷冻机冷却的低温板被设置为与箱体壁隔开，其中，在所述低温冷阱中设置有冷却分离隔壁，所述冷却分离隔壁与所述低温板的一侧板面相接，并且所述冷却分离隔壁将所述箱体内分离为所述腔室侧...

本发明提供一种结构简单的冷却装置。其可根据处理对象的姿势有效地冷却处理对象。所述冷却装置（RU1）具有冷冻机（2）和由冷冻机冷却的冷却面板（1），使冷却面板的主面（1a）与处理对象（S）接近或接触从而冷却处理对象。以冷却面板的主面与处理...

本发明提供一种可以防止在面板表面发生的凝缩体的剥离，保持稳定的排气动作的低温泵。本发明的实施方式涉及的低温泵(30)具有由冷冻机(32)冷却的低温面板(31)。所述低温面板的凝缩面(310)由边界部(沟部(310b))划分为多个独立的分...

本发明的目的在于，提供一种能够抑制臭氧在低温泵中的存留的真空排气装置、真空处理装置以及真空排气方法。为达到上述目的，本发明的一个实施方式的真空排气装置（１）包括：真空处理用的处理室（１１）泵单元，该泵单元具有冷捕集器（１６１）与排气通路...

本发明提供一种使用蓄冷材的蓄冷器及克莱欧泵，该蓄冷材是在对环境影响较大的铅以外，满足作为蓄冷材的诸条件（比热、热传导率、加工性、强度、硬度、化学稳定性、低成本）。本发明的蓄冷器（１４）是在制冷剂气体通过的内部通路收容有在与制冷剂气体之间...