艾尔菲有限责任公司专利技术

艾尔菲有限责任公司共有1项专利

  • 用于调节腔室装置中的真空水平的装置和方法,所述腔室装置具有通过使用一个或多个泄压阀元件包封内部腔室容积的壳体,所述泄压阀元件在预定真空水平下打开以产生穿过壳体的开口并且在腔室容积内的第二较低预定真空水平下关闭
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