提供了一种用于制造衍射光学元件、包括以下步骤的方法：‑ 提供衍射光学元件的母板（3），其中记录材料（11）的层覆盖所述母板（3），‑ 用参考光束（2）的电磁辐射辐射所述母板（3），使得生成物体光束（17），以及‑ 通过记录材料（16）记...