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阿顿公司专利技术
阿顿公司共有1项专利
用再装填的储存器进行真空沉积的装置和相应的真空沉积方法制造方法及图纸
本发明涉及真空沉积装置,其包括适用于接受待处理的基材(2)并置于真空下的外壳(1)以及至少一个用于产生有机材料的蒸汽的分子束的注射器(110)。具有阀门(20)的注射器穿过外壳的底部并且包括适用于接受包含有机材料的可移动的储存器(10)...
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