【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种控温模块,其特征在于,所述控温模块包括:冷却模块和报警模块,所述冷却模块设有风扇。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:何崇敏,杨旭敏,杨志平,
申请(专利权)人:中芯国际集成电路制造北京有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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