【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种修改由表面（10）所界定的衬底（3）的边界区（9）的方法，其中提供抽空的过程室（2），其具有等离子体源（4），用于产生定向等离子体流（5），且其中此外向过程室（2）中供应具有预定义大小的流量的反应成分，且其中将所述衬底（3）加热到预定义的反应温度，其特征在于，由所述定向等离子体流（5）对所述反应成分进行扩散活化，使得所述反应成分以可预定义的扩散速率扩散到所述衬底（3）的边界区（11）中。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：M金德拉特，P吉蒂恩，C霍伦施泰因，
申请(专利权)人：苏舍美特科公司，
类型：发明
国别省市：
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