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一种修改由表面（10）所界定的衬底（3）的边界区（9）的方法，其中提供抽空的过程室（2），其具有等离子体源（4），用于产生定向等离子体流（5），且其中此外向过程室（2）中供应具有预定义大小的流量的反应成分，且其中将所述衬底（3）加热到预定义...
该专利属于苏舍美特科公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏舍美特科公司授权不得商用。

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