【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种电子显微镜样品盒,包括样品支撑底座,以及设置在所述样品支撑底座上的样品存放单元,其特征在于,相邻设置在所述样品支撑底座上的样品存放单元之间设置槽口,且所述槽口的开口间距小于所述槽口所在存放单元之侧边的距离。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:高林,史燕萍,
申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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