【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
滚动式倒片方法,其特征是,包括以下步骤:1)将盛有硅片的出片片架沿硅片中心轴线水平放置,放置的俯视图如图1;2)选择与出片片架尺寸相符的空的受片片架,将空的受片片架反扣在出片片架的上方,使出片片架与受片片架上的定位销(2)与定位孔(4)相互对准,出片片架上的片槽与受片片架上的片槽对应,将定位销(2)插入定位孔(4)牢固;3)将步骤2)两对接牢固的出片片架与受片片架,按出片片架中硅片中心连线为轴线旋转90度放倒,使放在出片片架片槽中的硅片仍然立于出片片架的片槽(3)中;4)将步骤3)放倒的两对接片架之出片片架(1?1)的平行于硅片轴线的外侧抬高至与水平面呈10~20度角,使出片片架中所盛的硅片滚入受片片架对应的片槽(3)中;5)对滚入硅片的受片片架,按硅片中心连线为轴线再小心旋转90度使其恢复受片片架两侧槽平衡承载,取下出片片架,完成硅片的转移。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘伯实,严立人,陶耀轩,
申请(专利权)人:扬州晶新微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:
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