【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于深紫外投影光刻物镜结构设计与像差补偿领域，具体涉及光学透镜高精度支撑结构。
技术介绍
投影光刻装备是大規模集成电路制造エ艺中的关键设备，近年来随着集成电路线宽精细程度的不断提高，投影光学装备的分辨率亦逐渐提高，目前波长193. 368nm的ArF准分子激光器投影光刻装备已成为90nm、65nm和45nm节点集成电路制造的主流装备。投影光刻物镜装调及使用过程中，为满足良好的光学系统性能，要求其内部透镜面形RMS值大都在f 2nm范围内，同时要求其工作过程中受高能激光照射时引起的镜片热面形RMS控制在I 2nm范围内。
技术实现思路
本专利技术为解决光刻投影物镜光学透镜高精度支撑问题，提出一种整体径向挠性、全弾片支撑的光学透镜高精度支撑结构。光学透镜高精度支撑结构，包括镜框和三个调整顶丝，所述镜框内环上具有若干弾片，且镜框和若干弹片为整体式结构；所述三个调整顶丝在镜框内环上周向均匀设置。所述弹片与光学透镜接触部位的形状与光学透镜下表面接触部位的形状相适应，两者之间为面接触。本专利技术的有益效果是所述镜框通过其内环上的若干弾片支撑透镜，镜框和若干弹片为整体式结构，当透镜由于热载荷等膨胀吋，由于镜框结构整体上在径向上存在一定的挠性，因此当镜片膨胀收缩时能够顺应性得伸縮；透镜装调吋，首先将透镜放置在若干弹片上，通过周向均匀分布的三个调整顶丝对透镜进行调心，然后通过胶粘将透镜和镜框固定，最后再将三个调整顶丝拧出；从而实现光学透镜高精度支撑。附图说明图I为本专利技术光学透镜高精度支撑结构示意图。图2为本专利技术所述的镜框结构示意图。图3为本专利技术所述的另...
【技术保护点】
光学透镜高精度支撑结构，包括镜框（2）和三个调整顶丝（3），其特征在于，所述镜框（2）内环上具有若干弹片（2？1），且镜框（2）和若干弹片（2？1）为整体式结构；所述三个调整顶丝（3）在镜框（2）内环上周向均匀设置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵磊，巩岩，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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