光刻物镜中光学元件高精度支撑结构制造技术

光刻物镜中光学元件高精度支撑结构，属于深紫外投影光刻物镜结构设计与像差补偿领域，为解决光刻物镜中光学元件高精度支撑问题，本发明专利技术结构包括镜框和整体弹片，所述整体弹片与镜框之间通过若干螺钉固定；所述镜框内环周向均匀分布三处径向挠性弹片，所述三处径向挠性弹片和镜框为一体式结构；所述整体弹片具有若干整体弹片支撑片，所述三处径向挠性弹片与若干整体弹片支撑片沿周向均匀分布；所述三处径向挠性弹片支撑处的形状与光学元件下表面相适应；当光学元件由于热载荷等膨胀时，镜框由于径向挠性弹片的存在能够适应性地伸缩，所述三处径向挠性弹片支撑处的形状与光学元件下表面接触处形状相吻合，从而实现光刻物镜中光学元件高精度支撑。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于深紫外投影光刻物镜结构设计与像差补偿领域，具体涉及光刻物镜中光学元件高精度支撑结构。
技术介绍
投影光刻装备是大規模集成电路制造エ艺中的关键设备，近年来随着集成电路线宽精细程度的不断提高，投影光学装备的分辨率亦逐渐提高，目前波长193. 368nm的ArF准分子激光器投影光刻装备已成为90nm、65nm和45nm节点集成电路制造的主流装备。 投影光刻物镜装调及使用过程中，为满足良好的光学系统性能，要求其内部光学元件面形RMS值大都在f 2nm范围内，同时要求其工作过程中受高能激光照射时引起的光学元件热面形RMS控制在I 2nm范围内。
技术实现思路
本专利技术为解决光刻物镜中光学元件高精度支撑问题，提出一种三点径向挠性主支撑、多点弹片辅助支撑的光刻物镜中光学元件高精度支撑结构。光刻物镜中光学元件高精度支撑结构，包括镜框和整体弾片，所述整体弾片与镜框之间通过若干螺钉固定。所述镜框内环周向均匀分布三处径向挠性弾片，所述三处径向挠性弾片和镜框为一体式结构。所述整体弾片具有若干整体弾片支撑片，所述三处径向挠性弾片与若干整体弾片支撑片沿周向均匀分布。所述三处径向挠性弾片支撑处的形状本文档来自技高网...

【技术保护点】
光刻物镜中光学元件高精度支撑结构，包括镜框（2）和整体弹片（3），其特征在于，所述整体弹片（3）与镜框（2）之间通过若干螺钉（4）固定。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵磊，巩岩，于新峰，彭海峰，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：