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光学透镜高精度支撑结构，属于深紫外投影光刻物镜结构设计与像差补偿领域，为解决光刻投影物镜光学透镜高精度支撑问题，光学透镜高精度支撑结构，包括镜框和三个调整顶丝，所述镜框内环上具有若干弹片，且镜框和若干弹片为整体式结构；所述三个调整顶丝在镜框...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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