裸片拾取装置制造方法及图纸

在裸片拾取装置中，确保稳定的片剥离性能，通过吸嘴(30)的衬垫(30a)吸附保持切割片(29)上的裸片(21)，且从该裸片(21)的粘贴部分的近前侧使剥离台(18)向该裸片(21)的粘贴部分的正下方滑动，从而逐渐片剥离该裸片(21)的粘贴部分后，使吸嘴(30)上升，拾取裸片(21)，吸嘴(30)的衬垫(30a)的吸附面部由多孔质部件或多孔状部件形成，使孔的面积相对片剥离开始侧的吸附面的比(气孔率)、大于孔的面积相对片剥离结束侧的吸附面的比地构成，这样一来，可使吸嘴(30)的衬垫(30a)的片剥离开始侧的吸附力相对较大，可确保稳定的片剥离性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ー种具有剥离台的裸片拾取装置，该剥离台用于通过吸嘴拾取粘贴到切割片上的裸片时，对于要通过吸嘴拾取的裸片的粘贴部分进行片剥离。
技术介绍
在剥离粘贴到切割片上的裸片的方式中，包括顶起剥离方式和滑动剥离方式。在顶起剥离方式中，如专利文献I (特开2010-129949号公报)所述，对从粘贴了棋盘格状切割的晶圆的可伸縮的切割片上的晶圆分割的裸片，用吸嘴吸附并拾取时，对切割片中的要吸附的裸片的粘贴部分，从其正下方用顶起筒顶起，将该裸片的粘贴部分从切割片部分剥离的同时，用吸嘴吸附该裸片，从切割片拾取。 但是，当裸片为较薄易破裂的裸片时，在上述顶起剥离方式中，裸片可能破裂，因此使用滑动剥离方式。在滑动剥离方式中，如专利文献2(日本特许第3209736号公报)所述，具有拾取粘贴了多个裸片的切割片上的裸片的吸嘴(collet);具有片吸引孔的剥离台，通过吸嘴的衬垫吸附保持切割片上的裸片，且从该裸片的粘贴部分的近前侧使剥离台的片吸引孔滑动至该裸片的粘贴部分的正下方，从而对该裸片的粘贴部分逐渐进行片剥离。专利文献I :日本特开2010-129949号公报专利文献2 日本特许3209736号公报
技术实现思路
而在进行片剥离吋，为使较薄的裸片不破裂，需要对片剥离的裸片的大致整个面用吸嘴的衬垫吸附保持，因此一般情况下用多孔质材料形成吸嘴的衬垫。但是，多孔质衬垫的孔较细微，所以相对从生产设备的负压源提供给吸嘴的负压(真空压力)，多孔质衬垫的吸附カ大幅减弱。尤其是对于片剥离开始部分，需要较大的吸附力，所以片剥离开始部分的吸附力不足，可能无法确保稳定的片剥离性能。因此，本专利技术要解决的课题是，提供一种可确保稳定的片剥离性能的裸片拾取装置。为解决上述课题，技术方案I涉及的专利技术是一种裸片拾取装置，具有吸嘴，拾取粘贴了切割晶圆而形成的多个裸片的切割片上的裸片；剥离台，对通过上述吸嘴拾取的裸片的粘贴部分进行片剥离，通过上述吸嘴的衬垫吸附保持上述切割片上的裸片，且使上述剥离台从该裸片的粘贴部分的近前侧滑动至该裸片的粘贴部分的正下方，从而对该裸片的粘贴部分进行片剥离，其特征在于，上述吸嘴的衬垫形成为使片剥离开始侧的吸附カ大于片剥离结束侧的吸附力。在本专利技术中，考虑到在吸嘴的衬垫中的片剥离开始部分需要较大的吸附カ这一情況，以使片剥离开始侧的吸附カ相对较大的方式形成吸嘴的衬垫，因此可充分确保片剥离开始部分的吸附力，确保稳定的片剥离性能。具体如技术方案2所述，吸嘴的衬垫由多孔质部件或多孔状部件形成，孔相对片剥离开始侧的吸附面的面积比(气孔率)、大于孔相对片剥离结束侧的吸附面的面积比。这是因为，孔相对吸附面的面积比越大，吸附力越大。进ー步，考虑到随着裸片的片剥离量的増加，片剥离所需的吸附カ变小这ー情況，如技术方案3所述，吸嘴的衬垫形成为使吸附カ从片剥离开始侧向片剥离结束侧逐渐或阶段性地变小。并且，如技术方案4所述，在吸嘴的衬垫上，沿着片剥离开始侧的吸附面的端部形成狭缝状的吸附孔。这样ー来，通过狭缝状的吸附孔可切实增大片剥离开始侧的吸附面的端部的吸附力。但狭缝状的吸附孔的滑动方向的宽度过大时，因其吸附カ而使裸片本身拉入到吸附孔内而弯曲，裸片可能破裂，所以需要限制狭缝状的吸附孔使其滑动方向的宽度不过大。并且，如技术方案5所述，剥离台上形成片吸引孔，该片吸引孔用于从切割片的下表面侧吸引切割片而对该裸片的粘贴部分进行片剥离。这样ー来，沿着切割片的下表面使剥离台滑动，从而通过来自该剥离台的片吸引孔的吸引カ从下方吸引切割片，可对裸片的 粘贴部分进行片剥离。并且，如技术方案6所述，片吸引孔形成为与要进行片剥离的裸片的粘贴部分对应的大小，在该片吸引孔的滑动方向侧的边缘部，形成用于使该裸片的粘贴部分浮起而进行片剥离的凸起部。这样ー来，通过在剥离台的片吸引孔的滑动方向侧的边缘部形成的凸起部，可使裸片的粘贴部分浮起的同时进行片剥离，可进一步提高片剥离性能。附图说明图I是本专利技术的实施例I中的裸片拾取装置的透视图。图2是设置了实施例I的裸片拾取装置的部件安装机的透视图。图3是表示实施例I中的裸片的片剥离的滑动动作开始时的状态(省略切割片的图示)的透视图。图4是表示实施例I中的裸片的片剥离的滑动动作结束时的状态(省略切割片的图示)的透视图。图5是说明实施例I中的切割片上的各裸片和剥离台的裸片吸引孔的位置关系的平面图。图6是表示实施例I中的裸片的片剥离的滑动动作中途的状态的部分放大截面图。图7 (a)是表不实施例I的吸嘴的衬塾的纵向截断正面图，图7 (b)是其仰视图。图8是说明实施例I中的裸片的片剥离/拾取动作的程序控制的图。图9(a)是表不实施例2的吸嘴的衬塾的纵向截断正面图，图9(b)是其仰视图。具体实施例方式以下说明将实施本专利技术的方式具体化的2个实施例1、2。(实施例I)參照图I至图8说明本专利技术的实施例I。如图I所示，本实施例I的裸片拾取装置11的构成具有料仓保持部12(托盘塔)、托板拉出台13、托板拉出机构14、子机械手15、穿梭机构16、反转机构17、剥离台18 (參照图3 图6)、NG输送机19、嘴转换器20等。该裸片拾取装置11如图2所示，设定为将托板拉出台13插入到部件安装机25的送料器设置用槽中的状态。在裸片拾取装置11的料仓保持部12内可上下移动地收容的料仓中，可多层混载有放置裸片21的晶圆托板22、及放置托盘部件的托盘托板(未图示)。晶圆托板22的构成是将粘贴了棋盘状切割的晶圆(多个裸片21)的可伸縮的切割片29 (參照图6、图8)，在扩展状态下安装到具有圆形开ロ部的晶圆安装板23，将该晶圆安装板23通过螺纹固定等安装到托板主体28上。此外，切割片29的扩展可以任意方法进行，例如在从下方用圆形环顶起切割片29的状态下安装到晶圆安装板23即可。托板拉出机构14用于将晶圆托板22、盘式托板任意一个托板从料仓保持部12内的料仓拉出到托板拉出台13上，可将托板拉出到以下任意ー个位置将托板上的部件、裸片用部件安装机25 (參照图2)的吸嘴(未图示)拾取的位置(以下称为“部件安装机用拉出位置”)，及靠近料仓的拉出位置(以下称为“子机械手用拉出位置”)。部件安装机用拉出位置是托板拉出台13的前端的位置(离料仓最远的位置)，子机械手拉出位置是通过子 机械手15的吸嘴30 (參照图3、图4、图7、图8)可吸附晶圆托板22的切割片29上的裸片21的位置。子机械手15位于料仓保持部12的背面部(子机械手用拉出位置侧的面)中的托板拉出台13的上方而设置，构成为向XZ方向(托板拉出台13的宽度方向及垂直方向)移动。此外，使子机械手15的移动方向仅为X方向，子机械手15相对晶圆托板22的在Y方向(托板拉出方向)的相对位置通过利用托板拉出机构14使晶圆托板22逐渐向Y方向拉出来控制。该子机械手15上设有相机24，根据该相机24的拍摄图像，可确认作为拾取对象的裸片21的位置或裸片21的吸附姿态。穿梭机构16通过穿梭嘴26接受由子机械手15的吸嘴30拾取的部件，移送到通过部件安装机25的吸嘴可拾取的位置。反转机构17使从子机械手15接受的裸片21根据需要上下反转。这是因为，根据裸片21的种类不同，存在上下相反地粘贴到晶圆托板22的切割片29的裸片(例如倒装裸片等)。剥离台1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2011.03.01 JP 2011-0445421.一种裸片拾取装置，具有吸嘴，拾取粘贴了切割晶圆而形成的多个裸片的切割片上的裸片；剥离台，对通过上述吸嘴拾取的裸片的粘贴部分进行片剥离，通过上述吸嘴的衬垫吸附保持上述切割片上的裸片， 使上述剥离台从该裸片的粘贴部分的近前侧滑动至该裸片的粘贴部分的正下方，从而对该裸片的粘贴部分进行片剥离， 其特征在于，上述吸嘴的衬垫形成为使片剥离开始侧的吸附カ大于片剥离结束侧的吸附力。2.根据权利要求I所述的裸片拾取装置，其特征在于，上述吸嘴的衬垫由多孔质部件或多孔状部件形成，孔相对片剥离开始侧的吸附面的面积比大于孔相对片剥离结束侧的吸 附面的...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩城范明，滨根刚，森一明，
申请(专利权)人：富士机械制造株式会社，
类型：发明
国别省市：