本发明专利技术提供一种涂布装置，包括一平台、一涂布机构及一除尘装置，该平台用以支持并固定待涂布的基板，该涂布机构位于平台上方，该除尘装置设有一超声波除尘器，其设于平台上方并置于涂布机构前方。该超声波除尘器可在该涂布装置进行光阻涂布前将基板上的微粒除去，避免微粒损伤刮刀式喷嘴并减少涂布异常。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术是关于一种涂布装置，特别是关于一种用于涂布光阻材料的涂布装置。
技术介绍
在液晶显示装置制程工序中，需要在玻璃基板上均匀涂上一层特定厚度的光阻材料。一种现有技术涂布装置是采用刮刀涂布的方式将光阻剂涂布到玻璃基板上。如图1所示是现有技术刮刀式涂布装置的示意图。该刮刀式涂布装置10包括一平台16、一刮刀式喷嘴11、一光阻材料供应装置12及一喷嘴清洗槽15。该平台16用来支持并固定待涂布的基板13。该刮刀式喷嘴11设于平台16上方并与光阻材料供应装置12相连。该喷嘴清洗槽15设于平台16后端用来清洗刮刀式喷嘴11。如图2及图3所示，是刮刀式涂布装置10的工作示意图。刮刀式喷嘴11从第一位置A向第二位置B移动，此时光阻材料供应装置12提供的无特定形状的光阻材料14通过刮刀式喷嘴11转变成带状涂布到基板13上。当完成一次涂布动作后，刮刀式喷嘴11需浸入喷嘴清洗槽15清洗，准备进行下一次涂布动作。但是，采用该现有技术的刮刀式涂布装置10作光阻材料涂布时，因涂布装置10所在工作环境等因素的影响，基板13表面可能会存在一些微粒，这些微粒会造成基板13表面涂布异常，影响后制程的品质。同时，这些微粒还可能使刮刀式喷嘴11受损刮伤。
技术实现思路
为了克服现有技术涂布过程中涂布装置会因待涂布基板上存在的微粒而造成基板表面涂布异常以及刮刀式喷嘴受损刮伤的缺点，本专利技术提供一种可在涂布过程中去除待涂布基板上微粒的涂布装置。本专利技术解决技术问题所采用的技术方案是提供一种涂布装置，包括一平台、一涂布机构及一除尘装置，该平台用以支持并固定待涂布的基板，该涂布机构位于平台上方，该除尘装置设有一超声波除尘器，其设于平台上方并置于涂布机构前方。本专利技术的有益效果是与现有技术相比，本专利技术涂布装置在涂布机构前设置一超声波除尘器，该超声波除尘器可以在该涂布机构进行光阻涂布之前把基板上的微粒除去，避免微粒损伤刮刀式喷嘴，并减少涂布异常。附图说明图1是现有技术涂布装置的平面示意图。图2及图3是图1所示涂布装置的工作示意图。图4为本专利技术涂布装置的立体示意图。图5为本专利技术涂布装置的工作示意图。具体实施方式请参阅图4，是本专利技术涂布装置20的示意图。该涂布装置20包括一平台30、一喷嘴清洗槽(图未示)、一涂布机构40和一除尘装置50。该平台30利用真空吸附原理吸附固定待涂布的基板21。该喷嘴清洗槽设于平台30的端部。该涂布机构40包括一刮刀式喷嘴41、一光阻材料供应装置42、一对第一支架43及一驱动装置(图未示)。该对第一支架43设置在平台30的两侧，该刮刀式喷嘴41横跨在该平台30上方，其两端架设在第一支架43上。该光阻材料供应装置42与刮刀式喷嘴41相连并向其提供待涂布的光阻材料。该驱动装置是用来驱动该刮刀式喷嘴使其在第一支架43上作往复运动。该除尘装置50包括一超声波除尘器51及一对第二支架53。该对第二支架53与第一支架43并排设置在平台30两侧。该超声波除尘器51置于刮刀式喷嘴41前方，并横跨在平台30上方，其两端架设在第二支架53上。该超声波除尘器51利用超声波原理及风刀效应去除微粒，其设有一控制装置511和一驱动装置(图未示)，该控制装置511是用来控制超声波除尘器51的开关，该驱动装置用来驱动该超声波除尘器51使其在第二支架53上作往复运动。请一起参阅图5，是本专利技术涂布装置20的工作示意图。利用本涂布装置20进行光阻材料涂布时，把待涂布的基板21吸附在平台30上，使超声波除尘器51在驱动装置的驱动下从位置A移动到位置B，同时利用控制装置511开启该超声波除尘器51，让其处于工作状态，把基板21上的微粒清除。随后刮刀式喷嘴41也在驱动装置的驱动下从位置A移动到位置B，在其移动的过程中，把由光阻材料供应装置42提供的光阻材料均匀涂布在基板21上。当本次涂布动作完成后，刮刀式喷嘴41和超声波除尘器51返回，并将刮刀式喷嘴41浸入喷嘴清洗槽内清洗，准备下一次涂布动作。本专利技术涂布装置20在刮刀式喷嘴41前设置一超声波除尘器51，因此可以在该涂布装置20进行光阻涂布之前将基板21上的微粒去除，这样就可避免微粒损伤刮刀，同时减少涂布异常。权利要求1.一种涂布装置，包括一平台及一涂布机构，该平台用以支持并固定待涂布的基板，该涂布机构位于平台上方，其特征在于进一步包括一除尘装置，其设有一超声波除尘器，该超声波除尘器设于平台上方并置于涂布机构前方。2.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于该涂布机构包括一刮刀式喷嘴及一光阻材料供应装置，该刮刀式喷嘴位于平台上方，该光阻材料供应装置与刮刀式喷嘴相连。3.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于该超声波除尘器设有一控制装置。4.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于该涂布机构进一步包括一对第一支架，该对第一支架设于平台两侧，该刮刀式喷嘴两端架设于该对第一支架上。5.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于该除尘装置进一步包括一对第二支架，该第二支架与第一支架并排设置于平台两侧，该超声波除尘器的两端架设于第二支架上。6.如权利要求4所述的涂布装置，其特征在于该涂布装置设有一驱动装置，驱动刮刀式喷嘴在第一支架上作往复运动。7.如权利要求5所述的涂布装置，其特征在于该超声波除尘器设有一驱动装置，驱动超声波除尘器在第二支架上作往复运动。全文摘要本专利技术提供一种涂布装置，包括一平台、一涂布机构及一除尘装置，该平台用以支持并固定待涂布的基板，该涂布机构位于平台上方，该除尘装置设有一超声波除尘器，其设于平台上方并置于涂布机构前方。该超声波除尘器可在该涂布装置进行光阻涂布前将基板上的微粒除去，避免微粒损伤刮刀式喷嘴并减少涂布异常。文档编号B05C5/02GK1695822SQ200410027228公开日2005年11月16日 申请日期2004年5月10日 优先权日2004年5月10日专利技术者邓振坤, 王敬龙, 许文诚, 詹育颖, 曾增魁, 谢和利 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司, 群创光电股份有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种涂布装置，包括一平台及一涂布机构，该平台用以支持并固定待涂布的基板，该涂布机构位于平台上方，其特征在于：进一步包括一除尘装置，其设有一超声波除尘器，该超声波除尘器设于平台上方并置于涂布机构前方。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：邓振坤，王敬龙，许文诚，詹育颖，曾增魁，谢和利，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，群创光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]
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