MEMS光阀、具有该MEMS光阀的显示装置制造方法及图纸

一种MEMS光阀、具有该MEMS光阀的显示装置，MEMS光阀包括：层叠放置的固定光栅、第一可动光栅和第二可动光栅；第一电极，其与所述第一可动光栅相连；第二电极，其与所述第二可动光栅相连；第二电极与第一电极相对设置，当第一电极和第二电极带异种电荷时，第一电极和第二电极相向移动吸合，则带动第一可动光栅和第二可动光栅相向移动，使得固定光栅透光或者不透光。本技术方案可以加快固定光栅的透光、遮光速度，从而减少了实现光阀透光和不透光状态之间转换所需第一可动光栅和第二可动光栅移动的里程，降低光阀状态转换所需的功耗，提高转换的速度。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及显示
，尤其涉及具有MEMS光阀、具有该MEMS光阀的显示>J-U装直。技术背景 近年来，随着信息通讯领域的迅速发展，对各种类型的显示设备的需求越来越大。目前主流的显示装置主要有阴极射线管显示器(CRT)，液晶显示器(LCD)，等离子体显示器(TOP)，电致发光显示器(ELD)和真空荧光显示器(VFD)等。由于液晶显示装置具有轻、薄、占地小、耗电小、辐射小等优点，被广泛应用于各种数据处理设备中，例如电视、笔记本电脑、移动电话、个人数字助理等。液晶显示装置主要包括基底，在该基底内设有背光源；像素电极，位于所述基底上，基底上还具有TFT(薄膜晶体管开关)阵列，该TFT(薄膜晶体管开关)阵列用于与像素电极电连接，控制像素电极的电位；公共电极，以及位于像素电极和公共电极之间的液晶层。通过TFT (薄膜晶体管开关)阵列给像素电极提供电势，使公共电极和像素电极之间具有电势差，通过该电势差使液晶层中的液晶偏转，根据电势差的大小控制液晶偏转的角度，从而可以控制背光源发出的光透过液晶层的多少。液晶显示装置中，使用的背光源为白光，而且只有偏振光才可以通过液晶层，这将会损失50%的光，使光的利用率仅有50%，当光通过彩色滤光板，光的效率最多只有33%，因此液晶显示装置中光的利用率比较低。此外，液晶显示装置还具有其他方面的缺陷例如视角范围小，结构复杂、成本高等。随着MEMS技术的发展，显示装置中，利用MEMS光阀替换液晶层，通过MEMS光阀控制背光源发出的光的透光率。TFT-MEMS借助现有TFT-LCD平板微加工技术，用高速高效的MEMS光阀替换液晶，不再需要偏光片、彩色滤光板，可大幅度提高光效率、降低功耗以及制造成本。2007年9月18日公开的公开号为US7271945B2的美国专利公开了一种用MEMS光阀的显示装置，然而MEMS光阀机电驱动移动距离较大、功耗较高、速度较低。
技术实现思路
本技术解决的问题是现有技术的显示装置中的MEMS光阀移动距离大、功耗闻。为解决上述问题，本技术提供一种MEMS光阀，包括层叠放置的固定光栅、第一可动光栅和第二可动光栅；第一电极，其与所述第一可动光栅相连；第二电极，其与所述第二可动光栅相连；第二电极与第一电极相对设置，当第一电极和第二电极带异种电荷时，第一电极和第二电极相向移动吸合，则带动第一可动光栅和第二可动光栅相向移动，使得固定光栅透光或者不透光。可选的，所述第一可动光栅、第二可动光栅为矩形，所述第一电极和第二电极位于第一可动光栅和第二可动光栅移动方向的延长线上，位于第一可动光栅和第二可动光栅的同一侧，且第一电极和第二电极的相对面垂直于固定光栅的表面。可选的，所述固定光栅具有多个开孔，所述第一可动光栅具有多个开孔，所述第二可动光栅具有多个开孔，所述固定光栅的开孔、第一可动光栅的开孔、第二可动光栅的开孔均为矩形；所述固定光栅的开孔之间的距离为固定光栅开孔宽度的一半；所述第一可动光栅的开孔和固定光栅的开孔宽度相同，第一可动光栅的开孔之间的距离和固定光栅开孔之间的距离相同；所述第二可动光栅的开孔和固定光栅的开孔宽度相同，第二可动光栅的开孔之间的距离和固定光栅开孔之间的距离相同。 可选的，当所述第一电极和第二电极不带电荷或者帯同种电荷，则所述固定光栅的每ー个开孔一半宽度被第一可动光栅遮挡，另一半宽度被第二可动光栅遮挡；当第一电极和第二电极带异种电荷，所述固定光栅的开孔、第一可动光栅的开孔、第二可动光栅的开孔二者重合。可选的，在第一可动光栅和第二可动光栅相対的两侧都具有第一电极和第二电扱。可选的，所述第一可动光栅、第二可动光栅为圆形，所述固定光栅的开孔、第一可动光栅的开孔和第二可动光栅的开孔为围绕圆心排列的开孔阵列，所述第一电极位于第一可动光栅半径的延长线上，所述第二电极位于第二可动光栅半径的延长线上，且第一电极和第二电极两者的相对面垂直于固定光栅的表面，在第一电极和第二电极的带动下，第一可动光栅和第二可动光栅绕圆心旋转。可选的，还包括基底，所述固定光栅位于基底上；第一弾性悬臂，为弧形或类弧形的折线形，所述第一弹性悬臂面对第一可动光栅的侧面具有第一导电层，所述第一导电层作为所述第一电极；第二弾性悬臂，为弧形或类弧形的折线形，所述第二弾性悬臂的面对第二可动光栅的侧面具有第二导电层，所述第二导电层作为所述第二电极；所述第一弾性悬臂和第二弾性悬臂相对设置，第一弹性悬臂的两端和第二弹性悬臂的两端相互靠近且与固定光栅或者基底固定连接，第一弾性悬臂与第一可动光栅通过悬杆连接，第二弾性悬臂与第二可动光栅通过悬杆连接，且第一电极和第二电极的相对面垂直于固定光栅的表面。可选的，所述固定光栅或所述基底上具有第一插塞和第二插塞，所述第一导电层与所述第一插塞电连接，所述第二导电层与所述第二插塞电连接；所述第一弹性悬臂的两端通过第一插塞与所述固定光栅或基底固定连接；所述第二弹性悬臂的两端通过第二插塞与所述固定光栅或基底固定连接。可选的，还包括基底，所述固定光栅位于基底上；第一电极和第二电极为弧形或类弧形的折线形；所述第一电极和第二电极相对设置，第一电极和第二电极的两端相互靠近且与固定光栅或者基底固定连接，第一电极与第一可动光栅通过悬杆连接，第二电极与第二可动光栅通过悬杆连接，且第一电极和第二电极的相对面垂直于固定光栅的表面。可选的，所述固定光栅或所述基底上具有第一插塞和第二插塞；所述第一电极的两端通过第一插塞与所述固定光栅或基底固定连接；所述第二电极的两端通过第二插塞与所述固定光栅或基底固定连接。本技术还提供一种显示装置，包括，基底，位于基底内的背光源，以及位于基底上的所述的MEMS光阀。与现有技术相比，本技术具有以下优点当第一电极和第二电极带异种电荷，则同时相向移动吸合，且带动第一可动光栅和第二可动光栅移动，使得固定光栅的开孔透光或者不透光，也就是说，在本实施例中第一电极和第二电极都可动，从而通过第一电极和第二电极的相向运动，可以加快固定光栅的透光、遮光速度，从而减少了实现光阀透光和不透光状态之间转换所需第一可动光栅和第二可动光栅移动的里程，降低光阀状态转换所需的功耗，提高转换的速度。并且在透光和遮光的过程中，第一电极和第二电极吸合后，即使断电仍然可以保持此状态，从而降低功耗，达到了节能的效果。进一步的，所述固定光栅的开孔之间的距离为固定光栅开孔宽度的一半；所述第一可动光栅的开孔和固定光栅的开孔宽度相同，第一可动光栅的开孔之间的距离和固定光栅开孔之间的距离相同；所述第二可动光栅的开孔和固定光栅的开孔宽度相同，第二可动光栅的开孔之间的距离和固定光栅开孔之间的距离相同。在第一电极和第二电极不加电压的情况下，第一电极和第二电极不带电荷或者带同种电荷，则所述固定光栅的每一个开孔一半宽度被第一可动光栅遮挡，另一半宽度被第二可动光栅遮挡，使得光线不能透过，在给第一电极和第二电极施加电压后，则第一可动光栅和第二可动光栅相向移动从而使得光线可以透光光阀。这样使得在同样面积的第一可动光栅和第二可动光栅上，透光开孔的面积可以为不透光区域面积的两倍，有效的提高了透光率；节省了光栅面积。附图说明图I是本技术具体实施例的MEMS光阀的不透光状态的平面示意图；图2是本技术具本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：毛剑宏，唐德明，韩凤芹，
申请(专利权)人：上海丽恒光微电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：