【技术实现步骤摘要】
一种线栅偏振器的制造方法
[0001]本专利技术涉及线栅偏振器
,特别是涉及一种线栅偏振器的制造方法
。
技术介绍
[0002]线栅偏振器具有线栅结构,其中以预定周期布置在透明基板上呈条状突出的金属线
。
如果金属线的排列周期接近或大于入射电磁波的波长,则会发生典型的衍射现象;如果金属线的排列周期小于入射电磁波的波长,则会发生极化现象
。
即如果金属线的布置周期,即栅格间隔足够小,则平行于金属线偏振的光
(
即
S
偏振光
)
被金属栅格的反射特性所反射,并且垂直于金属线偏振的光
(
即
P
偏振
)
被透射
。
此时,金属线的宽度,厚度和布置周期与线栅偏振器的偏振特性,即透射率和反射率有关
。
[0003]为了使线栅偏振器用于
400nm
至
700nm
波段的可见光,通常需要
λ
/5
或更短的周期,即
100nm
或更短的线宽结构
。
然而,使用常规半导体工艺的光刻工艺很难形成具有这样的
100nm
或更小的精细图案的线栅,并且特别地,不可能形成大面积的图案
。
因此,常规的线栅偏振器首先使用电子束光刻形成主图案,然后使用电镀方法制造作为主图案的反相的模具
。
接下来,将金属层和聚合物层顺序地堆叠在透明基板 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种线栅偏振器的制造方法,其特征在于:包括如下的步骤:
1)
提供若干个表面刻蚀有微结构
(11)
的基板
(1)
,所述微结构
(11)
为同向间隔布置的条状结构;
2)
将刻蚀有微结构
(11)
的所述基板
(1)
逐层叠加形成填充单元,使基板
(1)
内形成若干方向一致的通道
(2)
,将叠加后的所述填充单元放入金属填充装置
(5)
的填充腔
(54)
内,并通过所述填充腔
(54)
两端产生的压力差,使得金属填充介质
(4)
在流经所述通道
(2)
时将所述通道
(2)
填满;
3)
对填满所述金属填充介质
(4)
的所述填充单元进行加热,使所述金属填充介质
(4)
烧结定型于所述通道
(2)
中并形成金属线栅
(41)
;
4)
将烧结后的所述填充单元进行拆分,得到若干个金属线栅单元;所述金属填充装置
(5)
包括本体
(51)
,所述本体
(51)
的两端设置有第一压力腔
(53)
和第二压力腔
(52)
,所述第一压力腔
(53)
和所述第二压力腔
(52)
之间的所述本体
(51)
内设置有所述填充腔
(54)
,所述填充腔
(54)
设置有可拆卸的密封盖
(55)
,所述填充腔
(54)
内设置有用于金属填充介质
(4)
烧结的加热装置
。2.
如权利要求1所述的线栅偏振器的制造方法,其特征在于:所述第一压力腔
(53)
和所述第二压力腔
(52)
靠近所述填充腔
(54)
的一侧均设置有闸门
(56)
,所述第一压力腔
(53)
和所述第二压力腔
(52)
分别设置有用于调节其内压力值的调压阀
。3.
如权利要求1所述的线栅偏振器的制造方法,其特征在于:烧结后的所述金属填充介质
(4)
所形成的所述金属线栅
(41)
的剥离侧设置有剥离层
。4.
如权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员:娄飞,
申请(专利权)人:深圳市雕拓科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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