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一种线栅偏振器的制造方法技术
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文档序号:39599608
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本发明公开了一种线栅偏振器的制造方法,其工艺为:提供若干个表面刻蚀微结构的基板,将基板逐层叠加形成填充单元,使基板内形成若干方向一致的通道,将叠加后的填充单元放入金属填充装置的填充腔,通过填充腔两端产生的压力差,使得金属填充介质在流经通道时...
该专利属于深圳市雕拓科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市雕拓科技有限公司授权不得商用。
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