【技术实现步骤摘要】
外延用冷却装置
[0001]本申请涉及半导体外延设备领域,尤其涉及一种外延用冷却装置
。
技术介绍
[0002]半导体外延设备是对半导体晶圆进行加工处理的设备,半导体外延设备形成有加热腔,加热腔内设置有反射板
、
玻璃罩组件和多个灯座,反射板设置于加热腔内,多个灯座设置于反射板,多个灯座固定有加热灯,以在加热腔内为晶圆气相生长提供高温工艺环境,玻璃罩组件由加热腔的底壁向背向加热灯的方向延伸,并在加热腔内形成反应腔,且玻璃罩组件在加热腔内形成有反应腔,晶圆设置于反应腔内
。
[0003]相关技术中,通常在反射板背向加热灯的一侧设置冷却板,以采用冷却板对反射板进行降温防止反射板被损坏
。
[0004]然而,由于加热腔内设置有玻璃罩组件以及固定加热灯的灯座,不便于冷却板的安装
。
技术实现思路
[0005]本申请实施例提供了一种外延用冷却装置,以解决相关技术中冷却板不便于安装的技术问题
。
[0006]本申请实施例提供了一种外延用冷却装置,冷却装置设置于外延设备的加热腔内;
[0007]冷却装置包括冷却板,外延设备内还设置有加热腔,冷却板设置于加热腔内,冷却板的表面设置有反射板,反射板背离冷却板的一面设置有多个灯座,且灯座固定有加热灯;加热腔内还设置有玻璃罩组件,玻璃罩组件穿过加热腔的底壁并沿背离冷却板的方向延伸,且在加热腔内形成反应腔,晶圆设置于反应腔内;
[0008]冷却板设置有第一安装孔和多个第二安装孔,所述玻 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种外延用冷却装置,所述冷却装置设置于外延设备的加热腔内;所述冷却装置包括冷却板
(100)
,所述冷却板
(100)
的表面设置有反射板
(600)
,所述反射板
(600)
背离所述冷却板
(100)
的一面设置有多个灯座
(300)
,且所述灯座
(300)
固定有加热灯
(200)
;所述加热腔内还设置有玻璃罩组件
(400)
,所述玻璃罩组件
(400)
穿过所述加热腔的底壁并沿背离所述冷却板
(100)
的方向延伸,且在所述加热腔内形成反应腔
(411)
,晶圆设置于所述反应腔
(411)
内;其特征在于,所述冷却板
(100)
设置有第一安装孔
(110)
和多个第二安装孔
(120)
,所述玻璃罩组件
(400)
穿设于所述第一安装孔
(110)
内,多个所述灯座
(300)
对应穿设于多个所述第二安装孔
(120)
内;所述冷却板
(100)
包括至少两个拼接板
(130)
,所述第一安装孔
(110)
设置于所述拼接板
(130)
的连接处;每个所述拼接板
(130)
均设置有冷却通道
(140)
,所述冷却通道
(140)
包括相互连通的进液通道
(141)、
回液通道
(142)
和多个液体通道
(143)
;每个所述液体通道
(143)
设置有至少一个进液口和至少一个出液口,所述进液通道
(141)
的出液端和所述进液口连通;所述回液通道
(142)
的进液端和所述出液口连通;冷却液由进液通道
(141)
进入,经由多个液体通道
(143)
后,再由回液通道
(142)
流出
。2.
根据权利要求1所述的外延用冷却装置,其特征在于,所述拼接板
(130)
设置有两个,两个所述拼接板
(130)
关于所述第一安装孔
(110)
的中轴线对称设置
。3.
根据权利要求2所述的外延用冷却装置,其特征在于,多个所述第二安装孔
(120)
包括对称设置的第一孔组和第二孔组;所述第一孔组和所述第二孔组分别设置于两个所述对称设置的拼接板
(130)。4.
根据权利要求2所述的外延用冷却装置,其特征在于,所述冷却通道
(140)
设置有两个,两个所述冷却通道
(140)
沿两个所述拼接板
(130)
的对称轴线对称设置于两个所述拼接板
(130)
内
。5.
根据权利要求1‑4任一项所述的外延用冷却装置,其特征在于,所述进液通道
(141)
的进液端和所述回液通道
(142)
的出液端相邻设置;所述拼接板
(130)
表面设置有循环组件
(150)
,所述循环组件
(150)
设置于所述进液通道
(141)
的进液端和所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:郑锦,姚铖,
申请(专利权)人:南京原磊纳米材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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