温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请实施例提供了一种外延用冷却装置，冷却装置设置于外延设备的加热腔内；冷却装置包括冷却板，冷却板的表面设置有反射板，反射板背离冷却板的一面设置有多个灯座，加热腔内还设置有玻璃罩组件，冷却板设置有第一安装孔和多个第二安装孔，玻璃罩组件穿设于...
该专利属于南京原磊纳米材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京原磊纳米材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。