【技术实现步骤摘要】
一种多分区列选通VCSEL面阵激光模组测试装置及其方法
[0001]本专利技术属于光电器件测试
,特别涉及一种多分区列选通VCSEL面阵激光模组的测试装置及其方法。
技术介绍
[0002]多分区列选通VCSEL面阵激光模组在全固态激光雷达领域应用越来越广,可替代传统的MEMS、振镜、旋转多面体棱镜扫描,实现全固态的扫描,对提升雷达的整机可靠性有非常重要的意义。但是针对多分区列选通VCSEL面阵激光模组的驱动测试技术并不成熟。当前分区列选通VCSEL面阵激光模组测试中使用的驱动方式主要是直流连续测试,或者单路驱动电路单分区测试以及单路驱动电路全区域测试方式。
[0003]直流测试因为电流比较大,发热量高,散热问题突出,激光器很难工作到很高的功率;单路驱动的分区测试操作比较复杂,需要在测试完VCSEL面阵一个分区后,把测试完的这个分区的键合金丝引线人为在显微镜下挑断,然后再选择其它分区进行键合金丝引线再次进行测试;单路驱动电路的全区测试,因为VCSEL芯片尺寸大,导致焊盘比较大,驱动电回路较长,寄生参数大,因此会造成二次振荡比较严重,脉宽展宽的问题,同时由于回路过长,还会导致不同分区的延时问题,会形成多脉冲振荡,而且窄脉冲情况下的单路驱动的电流较低,对于需要数百甚至上千安培的VCSEL面阵的驱动电流需求是远远不足的。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种多分区列选通VCSEL面阵激光模组的测试装置及其方法,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多分区列选通VCSEL面阵激光模组的测试装置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)上设有电动导轨(2),所述电动导轨(2)上设有模组支架(4),所述模组支架(4)上可拆卸式设有激光模组(6),且所述模组支架(4)的上方升降设置有用于压测所述激光模组(6)的检测件(5);其中,所述模组支架(4)上用于安装所述激光模组(6)的位置开设有出光窗口(40),且所述模组支架(4)的两侧分设有积分球(3)和光学组件,所述积分球(3)和所述光学组件均设于所述电动导轨(2)上,且所述积分球(3)和所述光学组件的入光端均位于所述出光窗口(40)的下方,所述检测件(5)包括驱动板(50),所述驱动板(50)的板体内部设有驱动电路,且所述驱动板(50)的板体上设有阴极探针(51),所述阴极探针(51)的两侧均阵列设置有若干个阳极探针(52),所述阴极探针(51)以及若干个所述阳极探针(52)均电连接于所述驱动电路,且分设于阴极探针(51)两侧的若干个所述阳极探针(52)按照一一对应的方式分成若干组分区探针,且若干组分区探针分别电连接于所述驱动电路。2.如权利要求1所述的一种多分区列选通VCSEL面阵激光模组的测试装置,其特征在于:所述激光模组(6)包括壳体基座(60),所述壳体基座(60)的下端面向内凹陷形成有焊接腔(61),且所述壳体基座(60)的上端面设有阴极焊盘(65),位于所述阴极焊盘(65)两侧的所述壳体基座(60)的上端面向内凹陷形成有若干个压测腔,若干个所述压测腔内均设有阳极焊盘(64),所述阳极焊盘(64)上固设有金丝键(63),且所述焊接腔(61)内可拆卸容置有面阵芯片(62),所述面阵芯片(62)通过所述键合金丝(63)和所述阳极焊盘(64)电连接,所述的面阵芯片(62)通过银浆或者金锡焊料和所述的阴极焊盘(65)相连接。3.如权利要求2所述的一种多分区列选通VCSEL面阵激光模组的测试装置,其特征在于:所述面阵芯片(62)包括若干个子单元(620),若干个所述子单元(620)依次拼接而成,且若干个所述子单元(620)的两端均设有子单元焊盘(621),所述子单元焊盘(621)和所述金丝键(63)固定连接。4.如权利要求1所述的一种多分区列选通VCSEL面阵激光模组的测试装置,其特征在于:所述光学组件包括相机(8),以及固设于相机(8)拍摄一侧的白板(7),所述相机(8)和所述白板(7)间隔设置。5.如权利要求3或4所述的一种多分区列选通VCSEL面阵激光模组的测试装置,其特征在于:所述驱动电路(1001)包括若干组动力电路,若干组动力电路分别连接对应的阳极探针(52),且若干组动力电路均电连接于所述负极探针(50)上。6.如权利要求5所述的一种多分区列选通VCSEL面阵激光模组的测试装置,其特征在于:所述动力电路包括芯片U104,所述芯片U104的第1引脚与电阻R399的第一端相连且连接至电源5V,电阻R399的第二端和电容C530的第一端相连,电容C530的第二端连接至芯片U104的第2引脚和第8引脚且接地,芯片U104的第11引脚和第16引脚相连且连接至内置电源5V,且芯片U104的第16引脚与电容C589的第一端、电容C590的第一端、电阻R356的第一端以及电感L108的第一端均相连,电感L108的第二端与电容C438的第一端、电容C440的第一端连接,且连接至比较器U94的第4引脚,电容C438的第二端与电容C440的第二端连接且连接至比较器U94的第6引脚,电容C589的第二端和电容C590的第二端相连且连接至芯片U104的第15引脚,电阻R356的第二端与电阻R357的第一端、电池C177的...
【专利技术属性】
技术研发人员:丛海兵,陶良泽,巩少斌,林宇山,
申请(专利权)人:杭州晟创激光科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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