一种高功率纳秒级VCSEL激光模组测试装置制造方法及图纸

一种高功率纳秒级VCSEL激光模组测试装置，属于激光测试技术领域，包括机座，机座的上方设有机身，且机座的上端面设有升降组件，升降组件的升降端与机身的下端面连接；机座的上端面可拆卸式设有模组支架，模组支架的上方设有检测件，机身的下端面固设有用于驱动检测件沿着X轴以及Y轴运动的调节组件；其中，工作时，检测件的检测端触接于VCSEL激光模组的正负极；本实用新型专利技术的结构简单，设计布局合理，降低对操作人员的素质要求，其次，相较于传统的测试装置，在对VCSEL激光模组进行测试时，为了便于检测，需要对VCSEL激光模组的表面进行探测凸点的焊接，从而导致对VCSEL激光模组的表面的损伤，而本实用新型专利技术中通过检测件直接压测于VCSEL激光模组的表面，避免该问题。避免该问题。避免该问题。

【技术实现步骤摘要】
一种高功率纳秒级VCSEL激光模组测试装置


[0001]本技术属于激光测试
，特别涉及一种高功率纳秒级VCSEL激光模组测试装置。

技术介绍

[0002]激光雷达、3D TOF传感相机都需要高峰值功率、窄脉冲（纳秒级）的激光光源模组，而VCSEL（垂直腔面发射激光器）激光模组由于无腔面损伤、可靠性高、面阵出光、峰值功率高的特点得到了广泛应用。同时，由于VCSEL激光模组功率高，输出光脉宽窄，现有的连续（CW）、准连续（QCW）激光模组测试系统无法满足测试要求，或者即使能对模组进行测试，但是却需要模组进行焊接的有损伤操作，不仅操作麻烦效率低，而且测试损耗的成本也比较高。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种高功率纳秒级VCSEL激光模组测试装置和测试方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种高功率纳秒级VCSEL激光模组测试装置，包括机座，所述机座的上方设有机身，且所述机座的上端面设有升降组件，所述升降组件的升降端与所述机身的下端面连接；所述机座的上端面可拆卸式设有模组支架，所述模组支架的上方设有检测件，所述机身的下端面固设有用于驱动检测件沿着X轴以及Y轴运动的调节组件；其中，工作时，所述检测件的检测端触接于VCSEL激光模组的正负极。
[0006]相较于现有技术，本技术具备如下效果：
[0007]本技术的结构简单，设计布局合理，降低对操作人员的素质要求，其次，相较于传统的测试装置，在对VCSEL激光模组进行测试时，为了便于检测，需要对VCSEL激光模组的表面进行探测凸点的焊接，从而导致对VCSEL激光模组的表面的损伤，而本技术中通过检测件直接压测于VCSEL激光模组的表面，避免该问题。
[0008]作为优选，所述检测件包括检测板，所述检测板上分设有与VCSEL激光模组的正负极对应的探针。
[0009]作为优选，所述探针包括检测段，所述检测段的尾端连接有插装段，所述插装段与所述检测板的连接处设有插装槽，所述插装段插装于所述插装槽内。
[0010]作为优选，所述检测段包括探针本体，所述探针本体的检测端设有若干个沟槽，且所述探针本体的尾端和所述插装段连接。
[0011]作为优选，所述模组支架包括支架本体，所述支架本体上设有出光窗口，所述出光窗口上下贯穿所述支架本体，且所述支架本体上还设有温度控制器。
[0012]作为优选，所述调节组件包括沿X轴移动的第一滑行机构以及沿Y轴移动的第二滑行机构，所述第一滑行机构和所述第二滑行机构的结构相同，且所述第二滑行机构的安装
端固设于所述第一滑行机构的滑行端。
[0013]作为优选，所述第一滑行机构/第二滑行机构包括滑轨，所述滑轨上滑动设有滑动块。
[0014]作为优选，所述升降组件包括驱动件，所述驱动件的驱动端动力连接有升降件，所述升降件的升降端连接于所述机座或所述机身二者之一。
[0015]作为优选，所述驱动件为液压泵、气缸或者电机中的一种。
[0016]作为优选，所述升降件为升降轴。
附图说明
[0017]图1是本技术整体结构示意图；
[0018]图2是图1中“A”处局部放大结构示意图；
[0019]图3是本技术中部分结构示意图；
[0020]图4是本技术中探针组件安装时的结构示意图。
[0021]图中：1
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机座；2
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机身；3
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升降组件；4
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模组支架；40
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支架本体；41
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出光窗口；42
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温度控制器；5
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调节组件；6
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检测件；60
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检测板；61
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探针；610
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检测段；6100
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探针本体；6101
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沟槽；611
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插装段；612
‑
插装槽。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚，完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部实施例。
[0023]实施例：
[0024]如图1所示的一种高功率纳秒级VCSEL激光模组测试装置，包括机座1，所述机座1的上方设有机身2，且所述机座1的上端面设有升降组件3，所述升降组件3的升降端与所述机身2的下端面连接；所述机座1的上端面可拆卸式设有模组支架4，所述模组支架4的上方设有检测件6，所述机身2的下端面固设有用于驱动检测件6沿着X轴以及Y轴运动的调节组件5；其中，工作时，所述检测件6的检测端触接于VCSEL激光模组的正负极；本技术的结构简单，设计布局合理，降低对操作人员的素质要求，其次，相较于传统的测试装置，在对VCSEL激光模组进行测试时，为了便于检测，需要对VCSEL激光模组的表面进行探测凸点的焊接，从而导致对VCSEL激光模组的表面的损伤，而本技术中通过检测件6直接压测于VCSEL激光模组的表面，避免该问题。
[0025]在本实施例中，所述调节组件5包括沿X轴移动的第一滑行机构以及沿Y轴移动的第二滑行机构，所述第一滑行机构和所述第二滑行机构的结构相同，且所述第二滑行机构的安装端固设于所述第一滑行机构的滑行端；其中，所述第一滑行机构/第二滑行机构包括滑轨，所述滑轨上滑动设有滑动块。
[0026]为了进一步的阐述，结合图4可知，所述检测件6包括检测板60，所述检测板60上分设有与VCSEL激光模组的正负极对应的探针61；其中，所述探针61包括检测段610，所述检测段610的尾端连接有插装段611，所述插装段611与所述检测板60的连接处设有插装槽612，所述插装段611插装于所述插装槽612内；另外，所述检测段610包括探针本体6100，所述探
针本体6100的检测端设有若干个沟槽6101，且所述探针本体6100的尾端和所述插装段611连接；在本实施例中，通过焊接、激光覆厚铜、直接键合铜或者化学电镀铜等方式，制作出与激光模组正、负极相对应的探针61，以此达到测试回路更短的目的，此外，相对于现有主体结构是弹簧针的测试探针而言，降低寄生电感，在实现直流测试的同时，兼顾窄脉冲的测试，。
[0027]参考图2和图3可知，所述模组支架4包括支架本体40，所述支架本体40上设有出光窗口41，所述出光窗口41上下贯穿所述支架本体40，且所述支架本体40上还设有温度控制器42；在本实施例中，为了增强VCSEL激光模组放置于所述支架本体40上的稳定性，所述支架本体40的上端面开设有放置槽，所述放置槽和所述出光窗口41相连通。
[0028]另外，所述升降组件3包括驱动件，所述驱动件的驱动端动力连接有升降件，所述升降件的升降端本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高功率纳秒级VCSEL激光模组测试装置，包括机座（1），所述机座（1）的上方设有机身（2），且所述机座（1）的上端面设有升降组件（3），所述升降组件（3）的升降端与所述机身（2）的下端面连接；其特征在于：所述机座（1）的上端面可拆卸式设有模组支架（4），所述模组支架（4）的上方设有检测件（6），所述机身（2）的下端面固设有用于驱动检测件（6）沿着X轴以及Y轴运动的调节组件（5）；其中，工作时，所述检测件（6）的检测端触接于VCSEL激光模组的正负极。2.如权利要求1所述的一种高功率纳秒级VCSEL激光模组测试装置，其特征在于：所述检测件（6）包括检测板（60），所述检测板（60）上分设有与VCSEL激光模组的正负极对应的探针（61）。3.如权利要求2所述的一种高功率纳秒级VCSEL激光模组测试装置，其特征在于：所述探针（61）包括检测段（610），所述检测段（610）的尾端连接有插装段（611），所述插装段（611）与所述检测板（60）的连接处设有插装槽（612），所述插装段（611）插装于所述插装槽（612）内。4.如权利要求3所述的一种高功率纳秒级VCSEL激光模组测试装置，其特征在于：所述检测段（610）包括探针本体（6100），所述探针本体（6100）的检测端设有若干个沟槽（6101），且所述探针本体（6100）的尾端和所述插装...

【专利技术属性】
技术研发人员：丛海兵，陶良泽，巩少斌，林宇山，
申请(专利权)人：杭州晟创激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：