The utility model provides an electro-optical device, an electronic device and a method for manufacturing an electro-optical device, which can be used to check the electrical characteristics of a plurality of thin film switch elements formed on a substrate which is used to keep the electro-optic material. The TFT array substrate of liquid crystal device 10, forming a check with TFT30g at the same time a dummy pixel pixel pixel region 10A 100D is located on the peripheral side, to connect to the pixel electrode of the drain region on 1E 9A for the first check pad 31g. In the dummy pixel adjacent, electrically coupled to the data line from 6A extended out the extension of the pixel electrode 9A part 6G for second inspection pad 32g, in the dummy pixel adjacent to one, for from the scan line 3A out the extension of extension of 3G through the relay electric pixel electrode 6h even the third electrode 9A inspection pad 33g.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及在保持电光物质的基板上形成有多个电气元件的电光装置、电子设备和电光装置的制造方法。更详细地说,涉及用来检查在基板上形成的电气元件的电特性的技术。
技术介绍
在液晶装置或有机电致发光装置等这类电光装置中,在保持电光物质的基板上,形成有多个开关元件。在这样的电光装置中,例如,在作为像素开关元件使用薄膜晶体管(以下,叫做TFT)的有源矩阵型的液晶装置中,在制造它时,如图20所示,在对大型基板10e形成多块的TFT阵列基板10的构成要素后,沿着预定切断线10f切断大型基板10e,得到在各个液晶装置中使用的TFT阵列基板10。在这里,对于被各个预定切断线10f夹在中间的区域来说,以往,一般如图21所示,被作为用来检查在TFT阵列基板10的像素区域10a上矩阵状地形成的多个像素开关用的TFT30、构成驱动电路101、104的多个驱动电路用TFT(未画出来)等的检查区域10g来利用。即,在TFT阵列基板10上,矩阵状地配置的多个像素的每一个像素内都形成有像素开关用TFT30,而且,在驱动电路内置型的TFT阵列基板10的情况下,驱动电路101、104虽然用TFT(未画出来)构成,但是,以前,不加变动地利用形成这些TFT的工序,在检查区域10g上,形成作为检查图案的检查用TFT30g’、电连到该检查用TFT30g’的漏极区域上的第1检查焊盘31g’、电连到检查用TFT30g’的源极区域上的第2检查焊盘32g’、和电连到检查用TFT30g’的栅极电极上的第3检查焊盘33g’。这样的工序,可在图20所示的大型基板10e的状态下进行,而且,对于1块TFT阵列基板10可 ...
【技术保护点】
一种电光装置,该装置是一种在保持电光物质的基板上,形成有具备多个薄膜开关元件的电气元件形成区域的电光装置,其特征在于:在上述电气元件形成区域内,形成有用来检查上述薄膜开关元件的特性的检查图案,和与该检查图案电连接的检查焊盘。
【技术特征摘要】
JP 2002-2-12 034708/20021.一种电光装置,该装置是一种在保持电光物质的基板上,形成有具备多个薄膜开关元件的电气元件形成区域的电光装置,其特征在于在上述电气元件形成区域内,形成有用来检查上述薄膜开关元件的特性的检查图案,和与该检查图案电连接的检查焊盘。2.根据权利要求1所述的电光装置,其特征在于上述电气元件形成区域,是将具备用来驱动上述电光物质的像素电极,和为了驱动该像素电极作为上述薄膜开关元件被形成的像素开关用有源元件的像素配置成矩阵状的像素区域,在上述像素区域内,形成有矩阵状地具备用来显示图像的多个有效像素的有效像素区域,和具备在该有效像素区域的外周一侧用遮光部件覆盖起来对图像的显示无直接贡献的多个虚设像素的虚设像素区域,上述检查图案和上述检查焊盘形成于上述虚设像素区域内。3.根据权利要求2所述的电光装置,其特征在于在每一个上述有效像素区域和上述虚设像素区域中,作为上述像素开关用有源元件,形成有具备与数据线电连接的源极区域、与上述像素电极电连接的漏极区域、和隔着绝缘膜与栅极电极对峙的沟道区域的像素开关用薄膜晶体管,在上述多个虚设像素的至少一个虚设像素中,作为上述检查图案形成有结构和尺寸与上述像素开关用薄膜晶体管相同的检查用薄膜晶体管的同时,在上述虚设像素区域中,在已形成了上述检查用薄膜晶体管的第1检查像素内形成有与该检查用薄膜晶体管的漏极区域电连接的第1检查焊盘,在与上述第1检查像素相邻的第2检查像素内形成有与...
【专利技术属性】
技术研发人员:藤田伸,
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社,
类型:实用新型
国别省市:JP[日本]
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