【技术实现步骤摘要】
一种柔性BiFe
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Mn
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O3薄膜及其制备方法
[0001]本专利技术属于功能材料领域,具体涉及一种柔性BiFe
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O3薄膜及其制备方法。
技术介绍
[0002]随着信息技术的快速发展,在人工智能和可穿戴设备的市场需求下,人们在传统的小型化和高度集成化电子元器件的基础上提出了更新的要求,比如轻质、柔性和可穿戴。作为柔性可穿戴电子元器件发展过程中不可或缺的柔性磁性薄膜材料也越来越受到人们的重视。Fe基软磁材料由于拥有低矫顽力、高磁导率以及较低的损耗功率,易于磁化和退磁等性能广泛应用到传感器、转换器、存储器等设备中,磁性薄膜的共振频率由其饱和磁化强度和磁各向异性场决定,可以通过调控磁性薄膜的磁各向异性来调控其共振频率,具有优异各向异性磁化强度现象的柔性薄膜材料具有广阔的应用领域和巨大的潜在应用价值,可应用于柔性可穿戴的储存器和传感器等方向,引起了人们很大的研究兴趣。
[0003]目前,具有各向异性磁化强度现象的薄膜材料大多出现在硬质单晶薄膜材料中,且一般采用物理方法制备。这极大的限制了具有各向异性磁化强度现象的薄膜材料的应用范围,尤其是柔性薄膜材料。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的是提供一种柔性BiFe
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O3薄膜及其制备方法,所得薄膜材料具有优异的各向异性磁化强度现象,且表现出优异的柔性。
[0005]本专利技术是通 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种柔性BiFe
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O3薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:将Bi(NO3)3·
5H2O、Fe(NO3)3·
9H2O、C4H6MnO4·
4H2O以摩尔比为1.05:0.95:0.05溶于溶剂中,得到前驱液A;步骤2:将前驱液A旋涂在单晶氟金云母衬底上,190~220℃温度烘烤8~12min得干膜,再在540~560℃温度下退火8~10min,得晶态的BiFe
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O3薄膜;重复该步骤,直至得到所需厚度的晶态的BiFe
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O3薄膜;步骤3:对承载有BiFe
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O3薄膜的F
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Mica衬底进行机械剥离获得柔性BiFe
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O3薄膜。2.根据权利要求1所述的柔性BiFe
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O3薄膜的制备方法,其特征在于,步骤1中,溶剂为乙二醇甲醚和醋酸酐,具体步骤为:将Bi(NO3)3·
5H2O,Fe(NO3)3·
9H2O和C4H6MnO4·
4H2O溶于乙二醇甲醚中,搅拌,然后加入醋酸酐继续搅拌,得到前驱液A,将前驱液A静置。3....
【专利技术属性】
技术研发人员:谈国强,奥迪,刘文龙,刘宸君,任慧君,夏傲,
申请(专利权)人:陕西科技大学,
类型:发明
国别省市:
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